[发明专利]靶材冷却水排空装置

权利要求书

1.一种靶材冷却水排空装置，其特征在于，包括：

靶材承载部，所述靶材承载部包括相对设置的第一端和第二端，所述靶材承载部用于放置靶材，所述靶材包括相对设置的固定端和密封端，所述固定端与所述第一端对应设置，所述密封端与所述第二端对应设置，所述密封端用于排放冷却水；

靶材升降部，所述靶材升降部位于在所述靶材承载部的第一端，所述靶材升降部用于抬高所述靶材的固定端；

靶材固定部，所述靶材固定部位于所述靶材升降部上方，所述靶材固定部包括靶材固定组件，所述靶材固定组件位于所述靶材升降部上方，所述靶材固定组件用于固定所述靶材的固定端；其中，

所述靶材固定组件包括第一固定件、第二固定件、连接件和固定轴；其中，所述第二固定件设置在所述第一固定件上方，所述第一固定件上设置有第一卡口，所述第二固定件上设置有与所述第一卡口相对设置的第二卡口，所述第一固定件包括相对设置的第三端和第四端；所述第二固定件包括相对设置的第五端和第六端，所述第三端与所述第五端对称设置，所述第四端和所述第六端对称设置；所述固定轴的一端与所述第一固定件的第三端螺纹连接，所述固定轴的另一端与所述第二固定件的第五端卡接；所述连接件的一端与所述第一固定件的第四端铰接，所述连接件的另一端与所述第二固定件的第六端铰接。

2.根据权利要求1所述的靶材冷却水排空装置，其特征在于，所述靶材固定部还包括承重板，其中，所述承重板位于所述靶材升降部上方，所述靶材固定组件位于所述承重板上方，所述承重板与所述第一固定件固定连接。

3.根据权利要求2所述的靶材冷却水排空装置，其特征在于，所述第一卡口和所述第二卡口均为弧形凹槽，且所述第一卡口的开口朝向所述第一固定件远离所述承重板的一面，所述第二卡口的开口朝向所述第二固定件靠近所述承重板的一面。

4.根据权利要求2所述的靶材冷却水排空装置，其特征在于，所述承重板和所述靶材固定组件之间设置有滑槽，所述承重板与所述滑槽固定连接，所述靶材固定组件与所述滑槽滑动连接。

5.根据权利要求2所述的靶材冷却水排空装置，其特征在于，所述靶材升降部包括相对设置的第一靶材升降子部和第二靶材升降子部，所述第一靶材升降子部设置在所述靶材固定部的一端，所述第二靶材升降子部设置在所述靶材固定部的另一端。

6.根据权利要求5所述的靶材冷却水排空装置，其特征在于，所述第一靶材升降子部靠近所述承重板的一面上设置有第一卡接件，所述第二靶材升降子部靠近所述承重板的一面上设置有第二卡接件，所述承重板的一端与所述第一卡接件卡接，所述承重板的另一端与所述第二卡接件卡接。

7.根据权利要求5所述的靶材冷却水排空装置，其特征在于，所述第一靶材升降子部和所述第二靶材升降子部均为剪刀叉升降机。

8.根据权利要求1所述的靶材冷却水排空装置，其特征在于，所述靶材承载部的第一端设置有除尘部。