[发明专利]磨削装置

说明书

本发明提供磨削装置，该磨削装置能够对磨削磨轮的基台进行清洗。磨削装置具有超声波清洗单元。超声波清洗单元包含：一对侧壁，它们围绕基台和磨削磨具的内侧和外侧；底面，其连接一对侧壁；喷射口，其形成于侧壁或底面的至少任意一方，朝向基台或磨削磨具的至少任意一方喷射清洗液；清洗液提供部，其向喷射口提供清洗液；超声波振子，其对从清洗液提供部提供的清洗液赋予超声波；以及电力提供部，其对超声波振子施加电力。

技术领域

本发明涉及磨削装置。

背景技术

公知有如下的结构：在利用包含呈环状排列的多个磨削磨具的磨削磨轮对旋转的保持工作台上的被加工物进行磨削的磨削装置中，向磨削磨具的磨削面喷射清洗液来进行清洗(参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开2015-202545号公报

在磨削装置中，存在使用磨削磨轮的磨削装置，该磨削磨轮包含环状的基台和固定于基台的多个磨削磨具。在这样的磨削装置中，存在如下的问题：在基台被污染的状态下，当磨削磨轮进行旋转或者进行磨削磨轮的更换时，加工室内被污染。而且，存在如下的问题：基台的污垢有可能在更换磨削磨轮时落到保持工作台上或磨削装置内，或者附着于磨削加工后的被加工物上。

发明内容

因此，本发明的目的在于，提供能够对磨削磨轮的基台进行清洗的磨削装置。

根据本发明，提供一种磨削装置，该磨削装置具有：保持工作台，其保持被加工物并旋转；磨削磨轮，其包含固定于旋转主轴的环状的基台和固定于该基台的多个磨削磨具；以及超声波清洗单元，其对该环状的基台进行清洗，该超声波清洗单元包含：侧壁，其围绕该基台和该磨削磨具的内侧和外侧；底面，其连接该侧壁；喷射口，其形成于该侧壁或该底面的至少任意一方，朝向该基台或该磨削磨具的至少任意一方喷射清洗液；清洗液提供部，其向该喷射口提供清洗液；超声波振子，其对从该清洗液提供部提供的清洗液赋予超声波；以及电力提供部，其对该超声波振子施加电力。

优选该底面与清洗液排出管连接，该底面按照朝向连接有该清洗液排出管的部分变低的方式倾斜。

优选该超声波振子配置于该侧壁或该底面的至少任意一方。

本申请发明能够对磨削磨轮的基台进行清洗。

附图说明

图1是示出第1实施方式的磨削装置的结构例的剖视图。

图2是示出图1的磨削装置的各结构要素的位置关系的俯视图。

图3是将图1的磨削装置的超声波清洗单元放大的剖视图。

图4是从另一角度示出图1的磨削装置的超声波清洗单元的立体图。

图5是示出图3的超声波清洗单元的水路的立体图。

图6是将第2实施方式的磨削装置的主要部分放大的剖视图。

图7是将第3实施方式的磨削装置的主要部分放大的剖视图。

图8是将变形例的磨削装置的主要部分放大的剖视图。

图9是示出图8的磨削装置的超声波清洗单元的立体图。

图10是示出图8的超声波清洗单元的水路的立体图。

标号说明