[发明专利]一种氧化铟锡蒸镀靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202110491264.1 | 申请日： | 2021-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN113185279A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 张倍维;陆映东;王凯;梁盈祥;宋春华 | 申请（专利权）人： | 广西晶联光电材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C04B35/457 | 分类号： | C04B35/457;C04B35/622;C23C14/35;C23C14/24;C23C14/08 |
| 代理公司： | 柳州市荣久专利商标事务所(普通合伙) 45113 | 代理人： | 韦微 |
| 地址： | 545616 广西壮族自治区柳州市柳*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 铟锡蒸镀靶材 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种氧化铟锡蒸镀靶材的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
（1）取净化处理过的ITO靶材废料进行破碎；
（2）破碎后的粉料，用20-40目筛网过筛，未过筛网的较大碎颗粒回收，过筛网的粉料待用；
（3）再将粉料用100-200目筛网过筛，未过筛网的粉料为粗颗粒，过筛网的粉料为细粉；
（4）按粗颗粒、细粉体积比5-8:2-4计，取粗颗粒、细粉与有机粘结剂混合，有机粘结剂的加入量为粗颗粒和细粉总重量的5-8%，所述有机粘结剂是含量为2-5%的PVA水溶液；
（5）均匀混合后的粉体用20-60目筛网过筛造粒；
（6）将造粒粉体装入模具中压制成型；
（7）将成型后的胚体放入常压氧氛烧结炉中烧结，烧结温度为1450-1650℃，保温2-5h，得到氧化铟锡蒸镀靶材。
2.根据权利要求1所述的一种氧化铟锡蒸镀靶材的制备方法，其特征在于：步骤（1）中，ITO靶材废料净化处理的具体操作是：将ITO靶材废料在稀盐酸中浸泡1.5-2.5小时后用纯水洗净，再烘干。
3.根据权利要求1或2所述的一种氧化铟锡蒸镀靶材的制备方法，其特征在于：步骤（1）中，破碎的具体操作是：将ITO靶材废料放入破碎机中破碎1-5分钟。
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