[发明专利]一种面向大尺寸CVD设备背板的精密激光抛光装置

权利要求书

1.一种面向大尺寸CVD设备背板的精密激光抛光装置，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的顶部活动安装有升降式工作台（5），所述升降式工作台（5）的顶部一侧固定安装有载物台（8），所述载物台（8）的一侧转动安装有激光操作手臂（3），所述激光操作手臂（3）远离载物台（8）的一侧固定安装有电机（6），所述电机（6）远离激光操作手臂（3）的一侧固定安装有工作台控制器（4）；

所述底座（1）和升降式工作台（5）之间分别设有若干智能红外感应器（7），所述底座（1）的一侧固定安装有激光控制台（2）；

所述载物台（8）的顶部滑动安装有限位组件（9）、底部滑动卡接有收集箱（10）。

2.根据权利要求1所述的一种面向大尺寸CVD设备背板的精密激光抛光装置，其特征在于：所述升降式工作台（5）的长宽为2~5m，上下可调距离为0.3~1m。

3.根据权利要求1所述的一种面向大尺寸CVD设备背板的精密激光抛光装置，其特征在于：所述智能红外感应器（7）的高度差为0.01~100mm。

4.根据权利要求1所述的一种面向大尺寸CVD设备背板的精密激光抛光装置，其特征在于：所述激光操作手臂（3）的加工参数包括：激光波长为100～1200nm，脉冲宽度为10fs～300ns，功率为1-1500W，重复频率为1kHz～9MHz；所述激光操作手臂（3）的激光扫描采用振镜系统进行光束扫描，扫描速度为0.05～10000mm/ s，扫描次数为1～200次；所述激光操作手臂（3）的激光抛光表面粗糙度达到Ra 0 .03μm以下。

5.根据权利要求1所述的一种面向大尺寸CVD设备背板的精密激光抛光装置，其特征在于：所述限位组件（9）包括两个升降挡边（91），所述两个升降挡边（91）平行滑动卡接在载物台（8）的顶部两侧，所述升降挡边（91）的两侧分别紧固卡接有从动挡边（92），所述从动挡边（92）的底部设有凹槽（93）。

6.根据权利要求5所述的一种面向大尺寸CVD设备背板的精密激光抛光装置，其特征在于：所述升降挡边（91）的两侧内凹设有卡槽（911），所述从动挡边（92）的两端外凸固定安装有卡块（921），所述卡块（921）紧固卡接在所述卡槽（911）内，所述升降挡边（91）的两端分别内凹设有设有限位滑槽（912），所述限位滑槽（912）滑动卡接在所述载物台（8）上，所述升降挡边（91）的底部中段外凸固定安装有齿条（913），所述齿条（913）啮合连接有传动组件（11），所述从动挡边（92）的顶部一侧滑动卡接有卡紧块（922），所述卡紧块（922）远离从动挡边（92）的一端固定安装有防滑橡胶条、另一端固定连接有弹簧并且弹簧固定安装在从动挡边（92）内。

7.根据权利要求6所述的一种面向大尺寸CVD设备背板的精密激光抛光装置，其特征在于：所述载物台（8）内中空设有空腔（81），所述空腔（81）与凹槽（93）连通，所述传动组件（11）包括小型电机（113），所述小型电机（113）固定安装在空腔（81）内，所述小型电机（113）的转轴通过链轮转动啮合连接有第一链条（112），所述第一链条（112）远离小型电机（113）的一端啮合连接有链轮并且链轮同轴固定安装有转轴（117），所述转轴（117）转动安装在所述空腔（81）的一端，所述转轴（117）的中部同轴固定安装有第一齿轮（111），所述第一齿轮（111）啮合连接所述齿条（913），所述小型电机（113）的转轴外端同轴固定安装有主动齿轮（114），所述主动齿轮（114）啮合连接有从动齿轮（115），所述从动齿轮（115）转动安装在所述空腔（81）内，所述从动齿轮（115）的一端通过链轮啮合连接有第二链条（118），所述第二链条（118）的一端通过链轮转动连接有转动轴并且转动轴的中段同轴固定安装有第二齿轮（116），所述第二齿轮（116）啮合连接所述齿条（913）。

8.根据权利要求1所述的一种面向大尺寸CVD设备背板的精密激光抛光装置，其特征在于：所述载物台（8）的底部贯穿设有落料孔（83），所述载物台（8）的底部两端外凸固定安装有燕尾块（82），所述收集箱（10）的顶部两侧内凹设有燕尾槽（103），所述燕尾槽（103）滑动卡接在所述燕尾块（82）上，所述落料孔（83）的底部设有过滤板（101），所述过滤板（101）摩擦放置在固定部（102）的顶部，所述固定部（102）固定安装在所述收集箱（10）的内壁上。