[发明专利]一种氮化铝覆铝陶瓷衬板的制备方法有效

专利信息
申请号: 202110494468.0 申请日: 2021-05-07
公开(公告)号: CN113213972B 公开(公告)日: 2022-12-02
发明(设计)人: 欧阳鹏;贺贤汉;葛荘;王斌;张进;张恩荣 申请(专利权)人: 江苏富乐华半导体科技股份有限公司
主分类号: C04B41/87 分类号: C04B41/87;C04B37/02
代理公司: 上海申浩律师事务所 31280 代理人: 赵建敏
地址: 224200 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 氮化 铝覆铝 陶瓷 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种氮化铝覆铝陶瓷衬板的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

步骤一:氮化铝陶瓷表面改性层制备;

制备表面改性溶液,将氮化铝陶瓷浸入到表面改性溶液中,充分润湿后烘干,在氮化铝陶瓷表面形成均匀膜层;表面改性溶液按照体积百分比配方为:3%-8%偶联剂;3%-5%冰醋酸,余量为无水乙醇;所述表面改性溶液中所述偶联剂为硅烷偶联剂、钛酸酯偶联剂、锆酸酯偶联剂中的一种或几种;

步骤二:表面改性层固化;

将氮化铝陶瓷置于马弗炉中烘烤,在氮化铝陶瓷表面形成均匀的固化改性层;烘烤为空气气氛,500℃-850℃,保温3-5h;

步骤三:钎焊焊接;

铝合金金属浆料制备,将浆料涂覆在具有固化改性层的氮化铝陶瓷上,烘干,再与高纯铝箔进行钎焊焊接,制备氮化铝覆铝陶瓷衬板;

所述步骤三中铝合金金属浆料为含Mg质量分数为2%-15%的铝合金钎料粉体与有机载体复配而成。

2.根据权利要求1所述的一种氮化铝覆铝陶瓷衬板的制备方法,其特征在于:所述步骤一中润湿后烘干为3-5次重复润湿烘干。

3.根据权利要求1所述的一种氮化铝覆铝陶瓷衬板的制备方法,其特征在于:所述步骤二中固化改性层厚度为0.5-10μm。

4.根据权利要求1所述的一种氮化铝覆铝陶瓷衬板的制备方法,其特征在于:所述步骤三中氮化铝陶瓷厚度为0.25-1.0mm,粗糙度Ra为0.2-0.6。

5.根据权利要求1所述的一种氮化铝覆铝陶瓷衬板的制备方法,其特征在于:所述步骤三中所述高纯铝箔厚度为0.2-0.8mm。

6.根据权利要求1所述的一种氮化铝覆铝陶瓷衬板的制备方法,其特征在于:所述步骤三中所述钎焊焊接温度为580℃-650℃,保温时间为5-120min。

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