[发明专利]一种氮化铝覆铝陶瓷衬板的制备方法有效
申请号: | 202110494468.0 | 申请日: | 2021-05-07 |
公开(公告)号: | CN113213972B | 公开(公告)日: | 2022-12-02 |
发明(设计)人: | 欧阳鹏;贺贤汉;葛荘;王斌;张进;张恩荣 | 申请(专利权)人: | 江苏富乐华半导体科技股份有限公司 |
主分类号: | C04B41/87 | 分类号: | C04B41/87;C04B37/02 |
代理公司: | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人: | 赵建敏 |
地址: | 224200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 氮化 铝覆铝 陶瓷 制备 方法 | ||
1.一种氮化铝覆铝陶瓷衬板的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤一:氮化铝陶瓷表面改性层制备;
制备表面改性溶液,将氮化铝陶瓷浸入到表面改性溶液中,充分润湿后烘干,在氮化铝陶瓷表面形成均匀膜层;表面改性溶液按照体积百分比配方为:3%-8%偶联剂;3%-5%冰醋酸,余量为无水乙醇;所述表面改性溶液中所述偶联剂为硅烷偶联剂、钛酸酯偶联剂、锆酸酯偶联剂中的一种或几种;
步骤二:表面改性层固化;
将氮化铝陶瓷置于马弗炉中烘烤,在氮化铝陶瓷表面形成均匀的固化改性层;烘烤为空气气氛,500℃-850℃,保温3-5h;
步骤三:钎焊焊接;
铝合金金属浆料制备,将浆料涂覆在具有固化改性层的氮化铝陶瓷上,烘干,再与高纯铝箔进行钎焊焊接,制备氮化铝覆铝陶瓷衬板;
所述步骤三中铝合金金属浆料为含Mg质量分数为2%-15%的铝合金钎料粉体与有机载体复配而成。
2.根据权利要求1所述的一种氮化铝覆铝陶瓷衬板的制备方法,其特征在于:所述步骤一中润湿后烘干为3-5次重复润湿烘干。
3.根据权利要求1所述的一种氮化铝覆铝陶瓷衬板的制备方法,其特征在于:所述步骤二中固化改性层厚度为0.5-10μm。
4.根据权利要求1所述的一种氮化铝覆铝陶瓷衬板的制备方法,其特征在于:所述步骤三中氮化铝陶瓷厚度为0.25-1.0mm,粗糙度Ra为0.2-0.6。
5.根据权利要求1所述的一种氮化铝覆铝陶瓷衬板的制备方法,其特征在于:所述步骤三中所述高纯铝箔厚度为0.2-0.8mm。
6.根据权利要求1所述的一种氮化铝覆铝陶瓷衬板的制备方法,其特征在于:所述步骤三中所述钎焊焊接温度为580℃-650℃,保温时间为5-120min。
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