[发明专利]一种CoZrTa合金靶坯及靶材的制备方法

权利要求书

1.一种CoZrTa合金靶坯的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

（1）按照配比称量需要的原料，原料包含Co片、Ta片和Zr颗粒，按照层层叠加的方式，底层和最上层为Co片，中间Ta片层和Zr颗粒层不能为相邻层，将原料置于水冷铜坩埚内；

（2）将坩埚抽真空后增加功率，观察到熔体内无不溶物翻滚时，保持功率稳定，进行磁悬浮熔炼后保温，得到熔体；

（3）将步骤（2）得到的熔体浇铸到模具内成型，初加工和轧制后得到所述CoZrTa合金靶坯；模具为水冷模具，自下而上进行冷却，水冷模具的水压为0.24-0.32MPa，水温为8-10℃，浇铸的时间为5-8s。

2.如权利要求1所述的CoZrTa合金靶坯的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中，原料纯度大于4N；所述原料中Co片、Ta片和Zr颗粒的质量百分比分别为：Co片80-84wt%、Ta片5-12wt%和Zr颗粒4-15wt%。

3.如权利要求2所述的CoZrTa合金靶坯的制备方法，其特征在于，所述Co片的厚度为3-8mm，长和宽均小于4cm；Ta片的厚度为1-3mm，长和宽均小于3cm；Zr颗粒的粒径为3-10mm。

4.如权利要求1所述的CoZrTa合金靶坯的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）中，抽真空后坩埚内的真空度为2.0×10^-2Pa；增加功率的速率为50-100kW/min，最终稳定的功率为350-450 kW；保温的温度为1375-1420℃，保温的时间为8-10min。

5.一种如权利要求1-4任一项所述的CoZrTa合金靶坯的制备方法制备得到的CoZrTa合金靶坯。

6.一种靶材的制备方法，该方法采用如权利要求5所述的CoZrTa合金靶坯，其特征在于，所述制备方法如下：将CoZrTa合金靶坯进行机械加工，确保靶坯上下平整；将平整的靶坯进行热轧，得到板坯；将板坯进行热矫平和机加工，得到所述靶材。

7.如权利要求6所述的靶材的制备方法，其特征在于，所述机械加工为将靶坯上面凸起部分加工掉，并确保靶坯上下平整。

8.如权利要求6所述的靶材的制备方法，其特征在于，所述靶材为圆形靶材；所述热轧的具体过程为：将所述靶坯加热至950-1150 ℃，并保温0.5-1 h后，按照每道次减少0.25-2mm，每循环轧制4道后，重新加热10-15 min，得到板坯。