[发明专利]一种气体过滤器

说明书

本发明提供了一种气体过滤器，包括滤灌，滤灌包括顶部的上盖、中间串联的多级滤筒和底部的集尘盒，各多级滤筒的气体通道相连通；各多级滤筒内部均设有一个过滤装置，过滤装置底部设有开口，过滤装置顶部密闭滤芯空心排气通道的顶部；进气口、过滤装置底部开口、滤芯空心排气通道、滤芯的内壁滤网、滤芯外壁与各多级滤筒内壁之间的通道和出气口连通形成气体通道；本发明设有多级滤筒，可加大面积过滤尾气中的粉尘颗粒，避免粉尘颗粒残留于反应腔室和真空管道内造成堵塞；且过滤装置的过滤方向为滤芯的内壁滤网指向滤芯外壁，可避免清理腔体和更换滤芯时造成粉尘污染。

技术领域

本发明属于半导体技术领域，更为具体地说，涉及一种气体过滤器。

背景技术

MOCVD(英文为Metal Organic Chemical Vapor Deposition，金属有机化学气相沉积系统)进行氮化物LED薄膜结构生长时是以III族的金属有机化合物和V族元素的氢化物等为晶体生长源材料，在反应腔室内高温真空状态下进行气相外延，生长各种Ⅲ-V族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。

因为MOCVD工艺所产生的尾气中含有易燃、易爆、毒性很大的物质，反应气体经反应腔室大部分热分解，但还有部分尚未完全分解，因此尾气中含有大量的粉尘颗粒沉积物和混合物。

现有的一些过滤器采用单级小尺寸滤筒进行简单过滤，过滤效果差，无法大面积的过滤MOCVD工艺尾气，尾气中的粉尘颗粒部分残留于反应腔室和真空管道内容易造成堵塞，且清理腔体时易导致粉尘污染；一般过滤器的气流方向由滤芯外部向滤芯内部流通，造成滤筒内壁和滤芯表面粉尘颗粒附着，更换滤芯过程中易造成二次脏污；目前的过滤器粉尘颗粒附着位置分散，无法集中回收，造成过滤器清理不便。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种气体过滤器，解决背景技术中现有过滤器过滤效果差易导致粉尘污染；更换滤芯过程中易造成二次脏污；粉尘颗粒附着位置分散，无法集中回收，造成过滤器清理不便等问题。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案如下：

一种气体过滤器，包括滤灌，其特征在于：

所述滤灌包括顶部的上盖、中间串联的多级滤筒和底部的集尘盒，所述多级滤筒可拆卸的连接所述上盖和集尘盒，各所述多级滤筒的气体通道相连通；

各所述多级滤筒内部均设有一个过滤装置，所述过滤装置包括过滤装置底部、滤芯和过滤装置顶部，由固定装置固定；

所述滤芯包括圆环柱体过滤件，所述滤芯的上下圆环面为密闭面，滤芯的内壁滤网围成滤芯空心排气通道；

所述过滤装置底部设有开口，所述过滤装置顶部密闭所述滤芯空心排气通道的顶部；

所述滤灌还包括进气口和出气口；进气口、过滤装置底部开口、滤芯空心排气通道、滤芯的内壁滤网、滤芯外壁与各多级滤筒内壁之间的通道和出气口连通形成气体通道，且所述过滤装置的过滤方向为滤芯的内壁滤网指向滤芯外壁。

优选地，所述滤灌的壳体通过若干卡扣组件连接，各所述多级滤筒的壳体底部边缘设有水平向外延伸的内壁卡槽，且所述内壁卡槽设于所述卡扣组件的卡接范围内；所述过滤装置底部为所述多级滤筒的隔板，所述过滤装置底部开口为隔板排气口，隔板边缘放置于所述内壁卡槽内；所述过滤装置顶部为密封板。

优选地，所述隔板边缘设有隔板密封圈，所述隔板密封圈填满所述隔板边缘和所述内壁卡槽之间的空隙；隔板排气口直径(L1)小于滤芯外圆直径(L2)。

优选地，所述固定装置包括螺杆和螺帽，所述螺杆包括第一螺杆和第二螺杆，所述螺帽包括第一螺帽和第二螺帽，所述第二螺杆的尺寸大于第一螺杆的尺寸，所述第二螺帽的尺寸大于所述第一螺帽的尺寸。