[发明专利]一种用于电子高纯气体的离心压缩机

权利要求书

1.一种用于电子高纯气体的离心压缩机，包括压缩机主体（1），所述压缩机主体（1）具有进气口（11）和排气口（12）；所述压缩机主体（1）的转子两端转动连接有支撑轴承（2）；其特征在于，所述转子两端分别套设有轴密封机构（3），所述轴密封机构（3）位于所述支撑轴承（2）和所述压缩机主体（1）的端头外侧壁之间；所述轴密封机构（3）为多级串联的干气密封结构；所述压缩机主体（1）内部与高纯气体接触的过流部件采用螺栓（4）连接，所述螺栓（4）轴向开设有贯通的换气孔（41）。

2.根据权利要求1所述的一种用于电子高纯气体的离心压缩机，其特征在于，所述轴密封机构（3）为两级串联的干气密封结构，两个所述干气密封结构中分别用于通入超高纯密封气体和惰性隔离气体。

3.根据权利要求1所述的一种用于电子高纯气体的离心压缩机，其特征在于，所述压缩机主体（1）的内流道表面采用金属抛光加工技术进行抛光，表面粗糙度Ra≤1.6。

4.根据权利要求1所述的一种用于电子高纯气体的离心压缩机，其特征在于，所述进气口（11）采用PEEK或PTFE材质的工程塑料密封。

5.根据权利要求1所述的一种用于电子高纯气体的离心压缩机，其特征在于，用于驱动所述转子转动的动力源为变频电机。

6.根据权利要求1所述的一种用于电子高纯气体的离心压缩机，其特征在于，所述转子的一端通过联轴器（5）与动力源连接，所述联轴器（5）的外侧安装有联轴器护罩；所述联轴器护罩内通入有正压保护的惰性气体。

7.根据权利要求6所述的一种用于电子高纯气体的离心压缩机，其特征在于，所述转子远离所述联轴器（5）的一端套设有止推轴承（6）；所述止推轴承（6）位于所述支撑轴承（2）和所述轴密封机构（3）之间。

8.根据权利要求1所述的一种用于电子高纯气体的离心压缩机，其特征在于，所述压缩机主体（1）的级数为1-12级。

9.根据权利要求1所述的一种用于电子高纯气体的离心压缩机，其特征在于，所述螺栓（4）的螺栓头朝向紧固面的端面上内嵌有密封圈（42）。