[发明专利]一种高压硅堆合金加工装置的合金方法

权利要求书

1.一种高压硅堆合金的加工装置，包括工件、环形电磁加热装置和工件厚度监测单元，其特征在于，还包括压力单元、温度传感器和控制器；

所述工件由若干晶圆和若干焊片交错堆叠而成；所述工件放置在所述环形电磁加热装置的内部；

所述压力单元包括气源和气缸，所述气源和气缸通过供气管道连通，所述供气管道上还设有电磁阀；

所述工件的上下表面均设有衬板，所述气缸的活塞杆的底端抵接所述工件上表面的衬板的顶面；所述温度传感器设置在所述衬板靠近所述工件的表面，或者设置在所述环形电磁加热装置的内部，用于检测工件的温度；

所述环形电磁加热装置、工件厚度监测单元、温度传感器、气缸和电磁阀，均与所述控制器通信连接。

2.根据权利要求1所述的一种高压硅堆合金的加工装置，其特征在于，还包括冷源，所述冷源具有出风口，所述出风口朝向所述工件的侧面或衬板的表面，所述冷源与所述控制器通信连接。

3.利用权利要求2所述的一种高压硅堆合金的加工装置的合金方法，其特征在于，

包括以下步骤：

1)堆叠所需层数的工件，并将其置入环形电磁加热装置的内部；

2)启动加工装置，环形电磁加热装置对工件进行加热，同时，压力单元的气缸开始下压工件；

3)当温度传感器检测到工件温度达到工作温度T_工时，维持该温度并向控制器馈送信号，控制器切断电磁阀，关闭气缸的压缩空气输入；

4)气缸利用缸内的残余压缩空气，对工件进行线性降压的下压，下压过程中监测工件的厚度：

4.1)当d_工≥d_目+β时，维持工件温度；测量切断电磁阀至d_工＝d_目+β的时间为t；

若t＞t₀，为工件升温，进入步骤4.2；

若t≤t₀，为工件降温，进入步骤4.2；

4.2)当工件厚度监测单元检测到时，维持工件温度，进入步骤4.3；

4.3)当工件厚度监测单元检测到d_工＝d_目时，向控制器馈送信号，控制器停止气缸动作，工件合金加工完成；

其中，d_工为工件厚度，d_目为目标合金厚度，β为正向接近d_目的敏感厚度范围，t₀为切断电磁阀至工件进入敏感厚度范围的临界时间。

4.根据权利要求3所述的合金方法，其特征在于，所述工作温度T_工位于所述焊片的固相线温度与液相线温度之间。