[发明专利]一种真空高温烧结炉用真空系统

说明书

本发明提供一种真空高温烧结炉用真空系统，包括安装箱，所述安装箱顶部外壁开设有圆口，且圆口的内壁通过螺栓螺接有调节箱，所述安装箱底部内壁通过螺栓螺接有密封箱，且密封箱顶部外壁开设有第一安装口，所述第一安装口的内壁通过螺栓螺接有电磁阀，所述调节箱顶部外壁开设有气口，且气口的内壁通过螺栓螺接有气管，所述调节箱底部外壁的两侧均开设有第二安装口，且两个第二安装口的内壁均通过螺栓螺接有连接管。本发明通过设置的密封箱和调节箱之间的配合，便于快速将炉体内抽成真空，同时在调节箱内设置调节机构，通过调节机构方便对调节箱上的连接管进行选择开启，解决了现有的真空烧结炉抽真空效率低的问题。

技术领域

本发明涉及高温烧结炉技术领域，尤其涉及一种真空高温烧结炉用真空系统。

背景技术

烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结，为了保证粉末压坯在烧结过程中的脱蜡（润滑剂或成形剂）、还原、合金化、组织转变等顺利进行，烧结时需要对烧结温度、保护气氛、压坯传送方式、加热和冷却速度等进行精确的控制,现有的真空烧结炉在使用时都是直接通过真空泵将炉体内抽出真空，这种抽真空的方式效率相对较低，直接导致烧结炉工作效率降低，因此，亟需设计一种真空高温烧结炉用真空系统来解决上述问题。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种真空高温烧结炉用真空系统。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种真空高温烧结炉用真空系统，包括安装箱，所述安装箱顶部外壁开设有圆口，且圆口的内壁通过螺栓螺接有调节箱，所述安装箱底部内壁通过螺栓螺接有密封箱，且密封箱顶部外壁开设有第一安装口，所述第一安装口的内壁通过螺栓螺接有电磁阀，所述调节箱顶部外壁开设有气口，且气口的内壁通过螺栓螺接有气管，所述调节箱底部外壁的两侧均开设有第二安装口，且两个第二安装口的内壁均通过螺栓螺接有连接管，其中一个所述连接管通过管道连接在电磁阀上，所述调节箱底部内壁通过螺栓螺接有减速电机，且减速电机输出轴上套接有转盘，所述转盘顶部外部的两侧均对称开设有第三安装口，且两个第三安装口的内壁分别通过螺栓螺接有调节机构和配重块。

所述调节机构包括安装套，且安装套底部内壁的两侧均通过螺栓螺接有滑杆，两个所述滑杆的外壁滑动连接有同一个驱动柱，所述驱动柱顶部外壁通过螺栓螺接有密封塞，两个所述滑杆的外壁均套接有弹簧。

所述安装箱的一侧外壁通过螺栓螺接有操作面板，且安装箱靠近操作面板一侧外壁的一侧设置有通风窗。

所述安装箱的一侧外壁开设有检修口，且检修口的一侧内壁活动连接有检修板。

所述驱动柱底部外壁通过螺栓螺接有磁铁，所述安装套底部内壁通过螺栓螺接有电磁铁。

所述安装套底部内壁通过螺栓螺接有电动伸缩杆，且电动伸缩杆的输出轴连接在驱动柱上。

本发明的有益效果为：

1.通过设置的密封箱和调节箱之间的配合，便于快速将炉体内抽成真空，同时在调节箱内设置调节机构，通过调节机构方便对调节箱上的连接管进行选择开启，解决了现有的真空烧结炉抽真空效率低的问题。

2.通过真空泵先将密封箱抽成真空，再将密封箱通过调节箱连接在炉体上，先通过密封箱将炉体内的空气抽空，从而提高炉体的抽真空的效率。

3.通过减速电机便于驱动调节机构对连接管进行堵塞，从而方便将炉体抽出真空或者向炉体内进气。

附图说明

图1为本发明提出的一种真空高温烧结炉用真空系统的结构示意图；

图2为本发明提出的一种真空高温烧结炉用真空系统的安装箱剖视结构示意图；

图3为本发明提出的一种真空高温烧结炉用真空系统的调节箱剖视结构示意图；