[发明专利]一种超高真空电动样品传样杆

说明书

本发明公开了一种超高真空电动样品传样杆，设置在取样腔内，包括传样杆本体，所述传样杆本体包括主传样杆、可拆卸固定在主传样杆端部的样品托、固定在主传样杆两侧的限位架；所述主传样杆底部设置有从动机构，所述取样腔一侧设置有由取样腔外伸入取样腔内的主动机构，所述主动机构与从动机构连接；所述取样腔内设置有用于限位架穿过的限位件，所述限位件与限位架滑动连接。在主传样杆移动过程中，限位件限制限位架的运动轨迹，保证主传样杆直线传样至指定位点。通过主动机构带动从动机构运动实现传样杆的传样工作，相较于手动操控传样杆采用本方法操控更加稳定、误差也较小。

技术领域

本发明涉及真空样品输送技术领域，更具体地说，涉及一种超高真空电动样品传样杆。

背景技术

金属、氧化物纳米团簇由于量子尺寸效应，造成电子、能带结构的变化。通过控制纳米团簇尺寸的制备，可以实现不同用途的功能材料，如生物医学、气体传感、光催化、抗辐照特性等，广泛用于工件表面的掺杂、蚀刻、清洁、平滑以及薄膜沉积。对于团簇沉积的制备，通常有水热合成方法及高压磁控溅射方法。相比于水热合成，高压磁控溅射沉积方法制备的纳米团簇具有尺寸可控、无其它杂相，方法简单等特点。

沉积过程在沉积室内完成，样品通过传样杆送入沉积室内，现有的传递管多为人工手动操作，需要反复调试才能将样品传送到指定位点处，精准度较差，同时手动操作稳定性较差，对操作人员技术要求较高。

发明内容

本发明的目的在于提供一种超高真空电动样品传样杆，用以解决上述背景技术中存在的技术问题。

本发明技术方案一种超高真空电动样品传样杆，设置在取样腔内，包括传样杆本体，所述传样杆本体包括主传样杆、可拆卸固定在主传样杆端部的样品托、固定在主传样杆两侧的限位架；所述主传样杆底部设置有从动机构，所述取样腔一侧设置有由取样腔外伸入取样腔内的主动机构，所述主动机构与从动机构连接；所述取样腔内设置有用于限位架穿过的限位件，所述限位件与限位架滑动连接。

在一个优选地实施例中，所述限位架包括两侧的侧杆和设置在两侧杆之间且沿主传样杆长度方向设置的限位杆，两所述侧杆与住传样杆固定，所述限位杆穿过限位件。

在一个优选地实施例中，所述限位件包括设置在主传样杆两侧的且槽口相对的两限位槽和设置在两限位槽底部用于对两限位槽支撑的支撑架。

在一个优选地实施例中，所述主传样杆底部沿主传样杆长度方向设置有安装座，所述从动机构包括固定在安装座上的齿条，所述齿条长度与安装座长度相适应，所述主动机构与齿条连接。

在一个优选地实施例中，所述主动机构包括伺服电机、与伺服电机输出轴固定的连接轴和与连接轴固定的主动齿轮，所述主动齿轮与齿条啮合。

在一个优选地实施例中，所述取样腔一侧设置有电机安装腔，所述连接轴穿过取样腔且与取样腔密封连接。

在一个优选地实施例中，所述主传样杆端部设置有安装板，所述安装板上设置有插孔，所述样品托底部固定有插杆，所述样品托与安装板固定时插杆插入插孔内。

本发明技术方案的有益效果是：

传样时，主动机构运动，从而驱动位于主传样杆下固定的从动机构运动，从动机构进而带着主传样杆移动，将位于主传样杆端部的装有样品的样品托送入沉积腔内。在主传样杆移动过程中，限位件限制限位架的运动轨迹，保证主传样杆直线传样至指定位点。通过主动机构带动从动机构运动实现传样杆的传样工作，相较于手动操控传样杆采用本方法操控更加稳定、误差也较小。

附图说明

图1为本发明俯视图，

图2为本发明传样杆本体结构示意图，

图3为本发明限位件结构示意图。

图4为本发明主动齿轮与从动齿轮侧视图