[发明专利]一种基于微环谐振器的器件的插入损耗的测量方法有效

专利信息
申请号: 202110520191.4 申请日: 2021-05-13
公开(公告)号: CN113238320B 公开(公告)日: 2022-11-08
发明(设计)人: 唐伟杰;林思蕙;阮小可;储涛 申请(专利权)人: 之江实验室;浙江大学
主分类号: G02B6/293 分类号: G02B6/293;G02B6/125;G01M11/02
代理公司: 北京志霖恒远知识产权代理有限公司 11435 代理人: 奚丽萍
地址: 310023 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 谐振器 器件 插入损耗 测量方法
【权利要求书】:

1.一种基于微环谐振器的器件插入损耗测量方法,其特征在于,所述微环谐振器为单环上下路微环谐振器,包括谐振环,所述谐振环上下分别耦合一条第一输入总线波导和一条第一输出总线波导,所述插入损耗测量方法如下:

S1:将待测器件与微环谐振器的微环谐振腔中上下两个弧形弯曲波导连接;

S2:分别将光耦合进入连接待测器件的微环谐振器和不带待测器件的微环谐振器,并得到其输出光谱;

S3:分别计算出连接待测器件的微环谐振器的环内损耗和不带待测器件的微环谐振器的环内固有损耗;

S4:根据所述和的差值计算获得单个待测器件的插入损耗。

2.如权利要求1所述的一种基于微环谐振器的器件插入损耗测量方法,其特征在于:所述步骤S2中连接待测器件的微环谐振器的半环半径与不带待测器件的微环谐振器的单环半径相等,并且两个微环谐振器的波导宽度、波导高度、波导与环的耦合间距保持一致。

3.如权利要求1所述的一种基于微环谐振器的器件插入损耗测量方法,其特征在于:光耦合进入微环谐振腔后,一部分从直通端输出光强Tthrough,一部分耦合到微环中,通过微环耦合到下通端输出光强Tdrop。

4.如权利要求3所述的一种基于微环谐振器的器件插入损耗测量方法,其特征在于,所述步骤S3包括以下子步骤:

S31:根据接入待测器件的输出光谱和不带待测器件的输出光谱上Tthrough最小时对应的横坐标波长数值和纵坐标响应数值的数据参数,分别计算出接入待测器件和不带待测器件的微环谐振器中每次往返固有功率损耗的分数,其中,,是下通端的-3dB带宽,FSR是波谷与波谷之间的距离即自由光谱范围;

S32:计算微环谐振器中光在单环之间通过一周的损耗和。

5.如权利要求4所述的一种基于微环谐振器的器件插入损耗测量方法,其特征在于:所述步骤S32中,和的计算公式为。

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