[发明专利]一种不对称的双环路侧部加热器在审
申请号: | 202110520692.2 | 申请日: | 2021-05-13 |
公开(公告)号: | CN113174627A | 公开(公告)日: | 2021-07-27 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 路景刚 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214028 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 不对称 环路 加热器 | ||
1.一种晶体生长炉用的侧部电阻加热器,其特征是:
a、包含两个闭合导电环路,分别围绕坩埚一周;
b、在每个导电环路上,设置2个电极接入点,两个环路的电极接入点在环路周长线上交替布置,将环路周长线大致均分为等长度的4段;
c、石墨电极穿过保温板,通过一个中间连接板,在所述电极接入点处,连接加热器环路;
d、在每个电极接入点临近区域,两个环路在竖直方向上发生一次交叉,在交叉点处,通过安装绝缘瓦片或保持空气间隙,实现两个环路间的电绝缘;
e、在任意一对相邻的分属于不同导电环路的两个电极之间区域,位于下层的属于一个环路的加热带的电阻,是位于上层的属于另外一个环路的加热带的电阻的2倍到10倍;
f、在每个环路的两个石墨电极上,分别施加工频交变电压,两回路施加的电压幅值相同,其范围是25V到80V。
2.如权利要求1所述加热器,其特征在于,位于下层的加热带为上下不对称的蛇形周期结构,其向上凸起半波形的宽度,是向下凸起半波形宽度的1.2倍到3倍。
3.如权利要求1所述加热器,其特征在于,位于下层的加热带为上下不对称的蛇形周期结构,其向上凸起半波形的上部区域的横截面积,是向下凸起半波形的下部区域的横截面积的1.2倍到5倍。
4.如权利要求1-3所述加热器,其特征在于,在任意一对相邻的分属于不同环路的两个石墨电极上,交变电压所引起的馈入电流之间的相角差的绝对值大约等于90度。
5.一种晶体硅铸锭炉,包括炉体,该炉体内设置有保温层笼体,该保温层笼体内设置有定向凝固热交换块,该热交换块上方设置有坩埚,其特征在于,所述炉体内还设置有如权利要求1-4任一项所述侧部加热器。
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