[发明专利]一种大尺寸ITO靶材的解绑装置和方法

说明书

本发明公开了一种大尺寸ITO靶材的解绑装置和方法，解绑装置包括水平放置的耐高温支架，耐高温支架上设置有保温垫，保温垫上放置有ITO靶材在上、铜背板在下的绑定组合体，绑定组合体中铜背板的侧面和铜背板上表面未被ITO靶材覆盖部分均覆盖有反射层，耐高温支架上设置有将保温垫和绑定组合体罩住的保温罩，ITO靶材上方垂直设置有温度传感器，保温罩内侧顶端均布排列多个红外加热器，温度传感器穿过保温罩顶端后连接有温度控制器，本发明利用红外加热器使得ITO靶材先接受热辐射升温膨胀，铜背板接受ITO靶材传导过来的热量后才发生膨胀，避免了ITO靶材在解绑过程中遭受过大的拉应力而发生断裂的问题。

技术领域

本发明涉及陶瓷靶材领域，尤其是一种大尺寸ITO靶材的解绑装置和方法。

背景技术

随着显示面板代数的不断增长，其玻璃尺寸越来越大，所需要的ITO靶材也越来越长，同时，为了减少单条背板上靶材接缝数量，单块靶材的尺寸已经从600毫米长增加到了1400毫米。在靶材绑定完成以后，如果因为某项指标不合格，需要将靶材与铜背板解绑进行重新绑定。解绑的时候，通常是将背板放置在绑定的加热平台上加热到焊合金属铟的熔点156度以上将两者分离。因为铜的热膨胀系数为18*10^-6，而ITO靶材的热膨胀系数为8*10^-6，铜背板与加热平台接触先受热，先产生较大的膨胀，而靶材接收铜背板传导过来的热量，温度较低，产生较小的膨胀，这样在铟融化以前，铜背板与靶材间就会产生很大的应力，靶材受拉应力，铜背板受压应力，单块靶材的尺寸越长，其所受的拉应力越大，如果靶材所受拉应力超过其强度，靶材就会发生断裂。本发明对解绑的过程进行了详细的研究，认为解绑升温过程中减小靶材所受拉应力可以解决靶材开裂的问题。

发明内容

本发明需要解决的技术问题是提供一种大尺寸ITO靶材的解绑装置和方法，利用红外加热器从上部将ITO靶材加热，而对铜背板进行反光防护，使得热膨胀系数小的ITO靶材先接受热辐射升温膨胀，热膨胀系数大的铜背板接受ITO靶材传导过来的热量后才发生膨胀，使两者在升温过程中总的膨胀量接近，避免了ITO靶材在解绑过程中遭受过大的拉应力而发生断裂的问题。

为解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案是：一种大尺寸ITO靶材的解绑装置，包括水平放置的耐高温支架，所述耐高温支架上设置有保温垫，所述保温垫上放置有绑定组合体且绑定组合体中ITO靶材在上、铜背板在下，所述绑定组合体中铜背板的侧面和铜背板上表面未被ITO靶材覆盖部分均覆盖有反射层，所述耐高温支架上设置有将保温垫和绑定组合体罩住的保温罩，所述ITO靶材上方垂直设置有温度传感器，所述保温罩内侧顶端呈一字型均布排列多个红外加热器，所述温度传感器穿过保温罩顶端后连接有控制多个红外加热器温度的温度控制器。

本发明技术方案的进一步改进在于：所述耐高温支架的下部为钢结构的水平平台，所述耐高温支架的上部结构为双层不锈钢板且双层不锈钢板中间填充有无机纤维毡、板或棉的任一种。

本发明技术方案的进一步改进在于：所述反射层采用红外反射率在90%以上的铝箔、镀铝的耐高温胶带或薄铝板中任一种。

本发明技术方案的进一步改进在于：所述保温垫和保温罩的耐火温度均为200℃以上、导热系数均小于0.5W/M*K。

本发明技术方案的进一步改进在于：所述保温垫采用厚度为10mm的弹性硅橡胶。

本发明技术方案的进一步改进在于：所述保温罩的内部表面全部贴上镀铝的耐高温胶带。

本发明技术方案的进一步改进在于：所述红外加热器采用红外灯、电热丝、电热棒、红外加热管中任一种。

本发明技术方案的进一步改进在于：一种大尺寸ITO靶材的解绑方法，包括如下步骤：

S1：在耐高温支架上放置保温垫，将ITO靶材在上、铜背板在下的绑定组合体吊装于保温垫上；