[发明专利]非球面氮气退火炉

说明书

本发明公开了非球面氮气退火炉，包括退火炉主体，退火炉主体包括有炉体，炉体内设有内炉腔，内炉腔安装有若干加热组件，若干加热组件均匀的布置在内炉腔上，炉体顶部设有密封槽，密封槽内安装有密封圈，密封圈顶部连接有炉盖，炉盖底部连接有退火架，退火架安装有若干放置板，炉盖安装有气体检测器，炉盖连接有氮气出气管，氮气出气管内安装有电磁阀，氮气出气管的另一侧连接有废气回收箱，废气回收箱底部连接有安装套，安装套安装在炉盖顶部，安装套内安装有伺服电机，伺服电机的动力输出端连接有旋转杆，旋转杆贯穿炉盖并延伸至其底部，旋转杆底部连接有风扇，炉体底部连接有安装座，安装座底部四个角落连接有站脚。

技术领域

本发明属于退火炉技术领域，具体涉及非球面氮气退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，但是现有的退火炉在加热时，退火炉内的加工工件受热不均匀，造成资源浪费严重的同时也会影响退火炉的工作效果，降温速率低，并且现有的退火炉不能很好的将内部的氧气排除，不能满足使用者的使用需求。

发明内容

针对上述背景技术所提出的问题，本发明的目的是：旨在提供非球面氮气退火炉。

为实现上述技术目的，本发明采用的技术方案如下：

非球面氮气退火炉，包括退火炉主体，所述退火炉主体包括有炉体，所述炉体内设有内炉腔，所述炉体与内炉腔之间设有隔热套，所述内炉腔安装有若干加热组件，若干所述加热组件均匀的布置在内炉腔上，所述炉体顶部设有密封槽，所述密封槽内安装有密封圈，所述密封圈顶部连接有炉盖，所述炉盖底部连接有退火架，所述退火架安装有若干放置板，所述炉盖底部一侧安装有气体检测器，所述炉盖的一侧连接有氮气出气管，所述氮气出气管内安装有电磁阀，所述氮气出气管的另一侧连接有废气回收箱，所述废气回收箱底部连接有安装套，所述安装套安装在炉盖顶部，所述安装套内安装有伺服电机，所述伺服电机的动力输出端连接有旋转杆，所述旋转杆贯穿炉盖并延伸至其底部，所述旋转杆底部连接有风扇，所述炉体底部连接有安装座，所述安装座底部四个角落连接有站脚，四个所述站脚之间固定连接有承板，所述承板表面安装有氮气储存箱，所述氮气储存箱的一侧连接有加气管，所述氮气储存箱顶部连接有出气管，所述出气管连接有气泵，所述气泵安装在安装座底部，所述出气管的另一侧依次贯穿安装座、炉体、隔热套和内炉腔并连接有出气盘，所述出气盘安装在内炉腔的底部，所述出气盘连接有若干喷头，所述安装座表面连接有立柱，所述立柱顶部连接有顶板，所述顶板设有通槽，所述顶板底部连接有液压气缸，所述液压气缸的动力输出端与炉盖相连接。

进一步限定，所述炉体表面连接有T型柱，所述T型柱的两侧设有倾斜面，所述炉盖在对应T型柱处设有凹槽，所述凹槽的两侧设有安装槽，所述安装槽内安装有压缩弹簧，所述压缩弹簧的自由端连接有限位板，所述限位板安装在安装槽内，所述限位板连接有限位卡块，所述限位卡块设有与倾斜面相匹配的斜面。这样的结构设计增加连接效果，辅助的提高密封性。

进一步限定，所述T型柱顶部设有镶嵌槽，所述镶嵌槽内安装有负极磁铁，所述负极磁铁连接有正极磁铁，所述正极磁铁安装在凹槽顶部。这样的结构设计使连接更固定。

进一步限定，所述炉盖两侧焊接有导向板，所述导向板设有导向孔，所述导向孔内安装有导柱，所述导柱安装在顶板与安装座之间。这样的结构设计使炉盖在运动时具有导向的效果。

进一步限定，所述出气管连接有流量调节阀。这样的结构设计便于控制流量的大小。

进一步限定，所述站脚与承板连接处设有三角形加强筋。这样的结构设计更具有支撑的稳定性。

进一步限定，所述站脚底部连接有橡胶脚垫，所述橡胶脚垫底部设有耐磨防滑纹。这样的结构设计使支撑更稳定，不易防滑。