[发明专利]用于确定缺陷数据的充分性以用于分类的方法和设备

权利要求书

1.一种用于确定缺陷数据的充分性以用于分类的方法，包括：

从样本获取一组缺陷数据，所述缺陷数据包含与包含多个缺陷类型的多个缺陷相关联的图像数据；

从用户接口装置接收指示进行所述多个缺陷的手动分类的信号；

将至少第一缺陷类型的缺陷数据分布成N个数据群组；

将所述N个数据群组的至少第一群组识别为含有测试数据；

将未经识别为含有测试数据的所述经分布缺陷数据的N-1个数据群组识别为含有训练数据；

针对所述N个群组的至少所述第一群组，基于所述N-1个数据群组中含有的所述训练缺陷数据递增地产生一系列分类器，其中使用所述N-1个数据群组的所述训练缺陷数据内含有的至少所述第一缺陷类型的递增百分比产生每一分类器；

通过将所述系列分类器中的每一者应用到所述经分布缺陷数据的所述N-1个群组中未含有的所述测试数据而针对用于至少所述第一缺陷类型的所述系列分类器中的每一者确定准确度值；和

基于所述N个群组的至少所述第一群组的经产生准确度分数和所述N个群组的至少一个额外群组的至少一个额外经产生准确度分数而针对至少所述第一缺陷类型产生缺陷数据充分性分数。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述基于所述N个群组的至少所述第一群组的所述经产生准确度分数和所述N个群组的所述至少一个额外群组的所述至少一个额外经产生准确度分数而针对至少所述第一缺陷类型产生缺陷数据充分性分数包括：

基于针对用于至少所述第一缺陷类型的所述系列分类器中的每一者确定的所述准确度值产生所述N个群组的至少所述第一群组的准确度分数；

基于针对用于至少所述第一缺陷类型的一系列额外分类器中的每一者确定的所述准确度值产生所述N个群组的至少额外群组的准确度分数；和

基于所述N个群组的至少所述第一群组的所述经产生准确度分数和所述N个群组的所述至少一个额外群组的所述至少一个额外经产生准确度分数而针对至少所述第一缺陷类型产生所述缺陷数据充分性分数。

3.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括：

基于所述N个群组的至少所述第一群组的经产生准确度分数和所述N个群组的所述至少一个额外群组的至少一个额外经产生准确度分数而以迭代方式针对至少额外缺陷类型产生缺陷数据充分性分数。

4.根据权利要求1所述的方法，其中将训练数据的所述N-1个群组汇总成单个数据群组。

5.根据权利要求1所述的方法，其中基于所述N-1个群组中含有的所述训练缺陷数据递增地产生一系列分类器包括：

基于所述N-1个群组中含有的所述训练缺陷数据递增地产生一系列整体学习分类器。

6.根据权利要求5所述的方法，其中基于所述N-1个群组中含有的所述训练缺陷数据递增地产生一系列分类器包括：

基于所述N-1个群组中含有的所述训练缺陷数据递增地产生一系列随机森林分类器。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述将至少所述第一缺陷类型的缺陷数据分布成N个群组包括：

将至少所述第一缺陷类型的缺陷数据随机分布成N个群组。

8.根据权利要求1所述的方法，其中使用应用到一或多个属性的实时自动缺陷分类RT-ADC方案对所述一或多个训练缺陷手动分类。