[发明专利]基板处理装置和参数获取方法

说明书

本发明涉及一种基板处理装置和参数获取方法，用于提高加热器的温度的控制精度。基板处理装置具备：加热器电阻器；数字滤波器，其对检测电压和检测电流中的至少一方进行滤波，所述检测电压是被设为施加于加热器电阻器的电压来检测出的数字电压值，所述检测电流是以将根据所述加热器电阻器和流过所述加热器电阻器的电流计算出的电压转换为数字电压值的方式来检测的；以及控制部，其使用检测电压和检测电流中的至少一方通过数字滤波器而被进行了滤波的检测电压和检测电流，来控制加热器电阻器的温度。

技术领域

本公开涉及一种基板处理装置和参数获取方法。

背景技术

在基板处理装置中进行加热器温度控制是公知的(例如参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2019-212670号公报

发明内容

发明要解决的问题

本公开提供一种提高加热器温度的控制精度的技术。

用于解决问题的方案

本公开的一个方式的基板处理装置具备：加热器电阻器；数字滤波器，其对检测电压和检测电流中的至少一方进行滤波，所述检测电压是被设为施加于加热器电阻器的电压来检测出的数字电压值，所述检测电流是以将根据加热器电阻器和流过加热器电阻器的电流计算出的电压转换为数字电压值的方式来检测的；以及控制部，其使用检测电压和检测电流中的至少一方通过数字滤波器而被进行了滤波的检测电压和检测电流，来控制加热器电阻器的温度。

发明的效果

根据本公开，加热器温度的控制精度提高。

附图说明

图1是表示实施方式所涉及的基板处理装置的概要结构的例子的图。

图2表示静电吸盘的俯视图的例子。

图3是表示加热器控制部和加热器的概要结构的例子的图。

图4是表示电压波形的例子的图。

图5是表示电压波形的例子的图。

图6是表示电流波形的例子的图。

图7是表示电流波形的例子的图。

图8表示数字滤波器的框图的例子。

图9是表示数字滤波器的概要结构的例子的图。

图10是表示分频比与截止频率的关系的例子的图。

图11是表示数字滤波器和控制部的概要结构的例子的图。

图12是表示数字滤波器和控制部的概要结构的例子的图。

图13是表示实施方式所涉及的参数获取方法的例子的流程图。

图14表示数字滤波器的框图的例子。

图15表示数字滤波器的框图的例子。

图16表示数字滤波器的框图的例子。

附图标记说明

1：基板处理装置；25：静电吸盘；31：直流电源；35：第一高频电源；36：第二高频电源；55：可变直流电源；70：加热器控制部；71：交流电源；72：开关；75：数字滤波器；751：数字滤波器；752：数字滤波器；753：数字滤波器；76：控制部；77：计算部；78：比较控制部；253：加热器；253a：加热器电阻器。

具体实施方式