[发明专利]无存储模块的湿度传感器芯片

说明书

本发明揭示了一种无存储模块的湿度传感器芯片，该湿度传感器芯片包括湿度敏感模块、测量电路模块、微处理单元MCU；湿度敏感模块包括湿度敏感材料、衬底、第一电极、第二电极和第三电极；湿度敏感材料、衬底、第一电极、第二电极和第三电极构成三电极结构的湿度敏感型电容‑‑电阻复合结构；第一电极、湿度敏感材料、第二电极构成湿度敏感电阻（湿敏电阻）结构，湿度敏感材料作为湿度敏感电阻（湿敏电阻）的湿度敏感材料；所述衬底是具备压电效应的晶体材料。

本申请是一种三电极结构的湿度传感器芯片的分案申请，该申请的申请日为：2020.01.07，申请号为202010011995.7，发明创造名称为：一种三电极结构的湿度传感器芯片。

技术领域

本发明涉及一种无存储模块的湿度传感器芯片。

背景技术

本发明专利申请是CN202010011995.7的分案申请，为克服母案的单一性缺陷而提出。

湿度传感器的相关背景技术文件，可参阅：

[1]Hosseinbabaei，F.and P.Shabani(2014).″A gold/organic semiconductordiode for ppm-level humidity sensing.″Sensors and Actuators B-chemical 205：143-150.

[2]Hosseini，M.S.and S.Zeinali(2019).″Capacitive humidity sensingusing a metal-organic framework nanoporous thin film fabricated throughelectrochemical in situ growth，″Journal of Materials Science：Materials inElectronics 30(4)：3701-3710.

[3]Jeong，W.，J.Song，et al.(2019).″Breathable Nanomesh Humidity Sensorfor Real-time Skin Humidity Monitoring.″ACS Applied MaterialsInterfaces 11

(47)：44758-44763.

[4]Kuang，Q.，C.Lao，et al.(2007).″High-sensitivity humidity sensorbased on a single SnO2 nanowire.″Journal of the American Chemical Society 129

(19)：6070-6071.

[5]Li，L.，F.Vilela，et al.(2009).″Miniature humidity micro-sensor basedon organic conductive polymer-poly(3，4-ethylenedioxythiophene).″MicroNanoLetters 4(2)：84-87.

[6]Popov，V.I.，D.V.Nikolaev，et al.(2017).″Graphene-based humiditysensors：the origin of alternating resistance change.″Nanotechnology28(35)：355501.

[7]Su，P.and C.Uen(2005).″A resistive-type humidity sensor usingcomposite films prepared from poly(2-acrylamido-2-methylpropane sulfonate)anddispersed organic silicon sol.″Talanta 66(5)：1247-1253.