[发明专利]一种悬浮式匀胶机及其匀胶方法

权利要求书

1.一种悬浮式匀胶机，其特征在于：包括底座（3），所述底座（3）上设有风筒（25）；所述风筒（25）上固定匀胶室（8），所述匀胶室（8）为空腔结构，且匀胶室的底端与风筒连通，所述匀胶室（8）的侧壁开设有通气孔（14），所述匀胶室（8）内设有载片托盘（11），所述载片托盘（11）的侧壁上开设有沿周向均布的多个气道（22）；所述风筒（25）内位于所述载片托盘（11）正下方位置处固定设有出风装置（12）；所述出风装置（12）的进气口和所述载片托盘（11）的通气孔（14）均与气体发生装置连接，所述出风装置（12）用于驱动所述载片托盘（11）悬浮，所述通气孔（14）与气道（22）配合用于驱动载片托盘（11）旋转；所述匀胶室（8）的侧壁上还固定有超声波换能器（7）；

所述超声波换能器（7）的安装位置高于通气孔（14）的位置，所述通气孔（14）和气道（22）均为倾斜孔；所述载片托盘（11）的底部采用同心圆结构（24），每个圆环的侧面由顶部至底部逐渐光顺缩小成一条线；载片托盘（11）直径大于风筒（25）外径，匀胶室（8）下部为向内折弯的环形台，载片托盘（11）放置于环形台上，匀胶室（8）与风筒（25）的连接部位设置网格板（13）。

2.根据权利要求1所述的一种悬浮式匀胶机，其特征在于：所述底座（3）中部开设底座槽（19），所述风筒（25）嵌设于所述底座槽（19）中，且所述风筒（25）上部凸出所述底座槽（19）的上表面；所述底座（3）内还开设容置腔体，所述容置腔体位于所述底座槽（19）的外侧，所述容置腔体中设置所述气体发生装置。

3.根据权利要求1所述的一种悬浮式匀胶机，其特征在于：所述气体发生装置为一气泵，气泵由旋转电机（15）驱动,气泵的出气口与储气罐（16）的进气口连通，所述储气罐（16）上的两个出气口分别与第一连接管（6）和第二连接管的一端连接，所述第一连接管（6）的另一端与所述通气孔（14）连接，所述第二连接管的另一端与所述出风装置（12）连接。

4.根据权利要求3所述的一种悬浮式匀胶机，其特征在于：所述载片托盘（11）上沿周向布置至少两个滑槽（26），每个滑槽（26）朝向载片托盘（11）的中心开设，所述滑槽（26）内设有导杆（23），所述导杆（23）上套设有滑块（20），所述滑块（20）为L型，包括滑块侧壁和滑块底壁，所述导杆（23）上还套设有弹簧（21），所述弹簧（21）一端与滑块（20）连接，另一端与滑槽（26）中靠近所述载片托盘（11）中心的一端侧壁连接。

5.根据权利要求4所述的一种悬浮式匀胶机，其特征在于：还包括外壳（2），所述外壳（2）盖设于所述底座（3）上，所述匀胶室（8）设于所述外壳（2）的内部；所述匀胶室（8）的顶部设有防护盖（1），所述防护盖（1）对应所述载片托盘（11）设置，所述防护盖（1）可开关所述匀胶室（8），所述防护盖（1）设于所述外壳（2）的顶部开孔中。

6.根据权利要求5所述的一种悬浮式匀胶机，其特征在于：还包括控制器（4），所述控制器（4）与所述超声波换能器（7）电连接；所述第一连接管（6）上设置第一电动阀（17），所述第二连接管上设置第二电动阀（18），所述控制器（4）与所述超声波换能器（7）、第一电动阀（17）和第二电动阀（18）电连接。

7.根据权利要求6所述的一种悬浮式匀胶机的匀胶方法，其特征在于：所述方法包括如下步骤：

S1：打开防护盖（1），将待匀胶的晶片放在载片托盘（11）上，弹簧（21）和滑块（20）作用于晶片，将晶片固定在所述载片托盘（11）的中间位置；

S2：向晶片上滴入胶液，盖上所述防护盖（1），通过控制器（4）打开第一电动阀（17）、第二电动阀（18）和超声波换能器（7）；载片托盘（11）在出风装置（12）排出气流的作用下上升，当载片托盘（11）的气道（22）与通气孔（14）同一高度时，停止上升；

S3：载片托盘（11）在通气孔（14）排出的气体作用下旋转，且胶液内部在超声波换能器（7）的作用下振动，使胶液对晶片的粘附性降低，且受离心力的作用下向周围扩散涂满整个晶片；

S4：通过控制器（4）关闭第一电动阀（17）、第二电动阀（18）和超声波换能器（7）；打开防护盖（1），取出匀胶后的晶片。