[发明专利]一种用于片上网络互连的蜂窝状路由器

权利要求书

1.一种用于片上网络互连的蜂窝状路由器，其特征是，包括二氧化硅衬底(1)和N×N个光开关单元(2)；其中N为大于等于2的正整数；

每个光开关单元(2)包括开关波导(2-1)和2个总线波导(2-2)；开关波导(2-1)由硅层、下二氧化铪层、氧化铟锡层、上二氧化铪层和金属电极层自上而下叠加而成；2个总线波导(2-2)均为硅层；开关波导(2-1)和2个总线波导(2-2)均为长条形直波导；开关波导(2-1)和2个总线波导(2-2)在二氧化硅衬底(1)的上表面呈相互平行设置，且2个总线波导(2-2)分别位于开关波导(2-1)的两侧，2个总线波导(2-2)与开关波导(2-1)均存在间隙；开关波导(2-1)的硅层和金属电极层同时与正电极相接，开关波导(2-1)的氧化铟锡层与负电极相接；2个总线波导(2-2)的两端形成光开关单元(2)的4个光端口；

N×N个光开关单元(2)在二氧化硅衬底(1)上呈矩阵排列，且每2个相邻的光开关单元(2)之间呈镜像设置；每2个相邻的光开关单元(2)的相同编号的光端口相连，其中位于第一行、最后一行、第一列和最后一列的光开关单元(2)中悬置的光端口形成路由器的N×N个路由端口。

2.根据权利要求1所述的一种用于片上网络互连的蜂窝状路由器，其特征是，每2个相邻的光开关单元(2)的相同编号的光端口之间通过硅基波导(3)相连。

3.根据权利要求1所述的一种用于片上网络互连的蜂窝状路由器，其特征是，开关波导(2-1)的金属电极层为金层。

4.根据权利要求1所述的一种用于片上网络互连的蜂窝状路由器，其特征是，开关波导(2-1)和2个总线波导(2-2)的长度和宽度均相等。

5.根据权利要求1所述的一种用于片上网络互连的蜂窝状路由器，其特征是，2个总线波导(2-2)与开关波导(2-1)的间距相等。