[发明专利]气体流速传感装置

权利要求书

1.一种气体流速传感装置，其特征在于，所述装置包括：分叉光纤、支撑部、光源、第一光谱仪和第二光谱仪；所述分叉光纤包括入射光纤、第一出射光纤和第二出射光纤，所述第一出射光纤和第二出射光纤的一端均与所述入射光纤的出射端连接，所述第一出射光纤和所述第二出射光纤之间设置有夹角，所述第一出射光纤和所述第二出射光纤的夹角位置设置有所述支撑部，所述支撑部与所述第一出射光纤连接，未与所述第二出射光纤连接，并且所述支撑部、所述第一出射光纤和所述第二出射光纤之后构成三角形结构，所述光源设置在所述入射光纤远离所述第一出射光纤和所述第二出射光纤的一端，所述第一出射光纤远离所述入射光纤的一端设置有所述第一光谱仪，所述第二出射光纤远离所述入射光纤的一端设置有所述第二光谱仪。

2.根据权利要求1所述的气体流速传感装置，其特征在于，所述支撑部两端的材料为金属材料，所述支撑部的中间的材料为弹性材料，所述支撑部的形状为片状结构。

3.根据权利要求2所述的气体流速传感装置，其特征在于，所述支撑部两端的材料为贵金属材料中的至少一种。

4.根据权利要求3所述的气体流速传感装置，其特征在于，所述第二出射光纤上设置垂直于光轴的通孔，所述支撑部伸入到所述通孔内部。

5.根据权利要求4所述的气体流速传感装置，其特征在于，所述支撑部的形状为靠近所述第一出射光纤一端宽，靠近所述第二出射光纤一端窄的片状结构。

6.根据权利要求5所述的气体流速传感装置，其特征在于，所述装置还包括金属层，所述金属层设置在所述第一出射光纤和所述第二出射光纤的夹角位置的侧壁上，且所述金属层设置在所述第一出射光纤和所述第二出射光纤的包层纤芯外部。

7.根据权利要求6所述的气体流速传感装置，其特征在于，所述金属层为金属颗粒层或者金属膜。

8.根据权利要求7所述的气体流速传感装置，其特征在于，所述装置还包括金属板，所述金属板上周期设置有孔洞，且所述金属板倾斜设置在所述第一出射光纤与所述第二出射光纤的连接位置。

9.根据权利要求8所述的气体流速传感装置，其特征在于，所述金属板的厚度为10nm-40nm。