[发明专利]一种ITO废靶坯回收制备的ITO粉末、靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种ITO废靶坯回收制备ITO粉末的方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)将CIP或CP后的ITO废靶坯进行粗破碎处理，得废靶坯颗粒A；所述废靶坯颗粒A的粒径D₅₀＝1～5cm；

(2)将步骤(1)所得废靶坯颗粒A进行精细粉碎后过筛，得精细颗粒B；所述过筛的筛网目数为80目；

(3)将步骤(2)所得精细颗粒B置入马弗炉并升温至200～600℃保温热处理15～40h，得热处理后的粉末C；所述粉末C的碳含量为50～150ppm；

(4)将步骤(3)所得粉末C置入球磨机中，加入纯水、消泡剂、粘结剂和分散剂混合均匀后进行球磨处理，得浆料D；所述粉末C、粘结剂与分散剂的质量之比为10：(1～5)：(0.1～1)；

(5)将步骤(4)所得浆料D采用喷雾干燥塔喷雾干燥处理后，经混料、过筛，即得所述ITO粉末。

2.如权利要求1所述ITO废靶坯回收制备ITO粉末的方法，其特征在于，步骤(2)所述精细颗粒B的颗粒粒径D₅₀＝50～500μm。

3.如权利要求1所述ITO废靶坯回收制备ITO粉末的方法，其特征在于，步骤(3)所述升温的温度为400～500℃，保温热处理的时间为20～30h，所述粉末C的碳含量为50～70ppm。

4.如权利要求1所述ITO废靶坯回收制备ITO粉末的方法，其特征在于，步骤(4)所述球磨处理的时间为30～60h，转速为40～70rpm/min。

5.如权利要求4所述ITO废靶坯回收制备ITO粉末的方法，其特征在于，所述浆料D经球磨处理后的颗粒粒径D₅₀为50～200nm。

6.如权利要求1所述ITO废靶坯回收制备ITO粉末的方法，其特征在于，步骤(4)所述粘结剂包括聚乙烯醇和聚乙二醇，所述分散剂包括聚乙烯吡咯烷酮。

7.如权利要求1所述ITO废靶坯回收制备ITO粉末的方法，其特征在于，步骤(4)所得浆料D中的固含量为40～70％。

8.如权利要求1～7任一项所述ITO废靶坯回收制备ITO粉末的方法制备的ITO粉末。

9.一种将ITO废靶坯回收制备ITO靶材的方法，其特征在于，包括以下步骤：

(a)将权利要求8所述ITO粉末液压成型，经过冷等静压处理，得ITO靶坯；

(b)将步骤(a)所得ITO靶坯以第一升温速率升温加热至400～600℃并保温4.5～5.5h，随后以第二升温速率升温加热至1400～1600℃并保温7.5～8.5h，即得所述ITO靶材。

10.如权利要求9所述将ITO废靶坯回收制备ITO靶材的方法，其特征在于，步骤a所述液压时的压力为30～90MPa，冷等静压时的压力为250～400MPa；步骤b所述第一升温速率为0.5～0.7℃/min，第二升温速率为1～3℃/min。