[发明专利]一种半导体新材料制备用抛光台

权利要求书

1.一种半导体新材料制备用抛光台，其特征在于，包括有支撑脚(1)、集水筒(2)、控制台(3)、调节滑轨(4)、承重电动推杆(5)、防溅组件(6)、观察组件(7)、载盘(8)、承重架(9)、起铰接架、抬起杆(11)、连接杆(12)、压杆(13)、调节螺栓(14)、锁紧螺栓(15)、固定架(16)、抛光转台(17)、螺纹孔(18)、卡槽(19)和插孔(20)；集水筒(2)固接于支撑脚(1)顶部；控制台(3)固接于集水筒(2)一外侧壁；抛光转台(17)固接于集水筒(2)内底面；调节滑轨(4)固接于集水筒(2)另一外侧壁，且调节滑轨(4)底面均匀开设有螺纹孔(18)；承重电动推杆(5)与调节滑轨(4)滑动连接，且承重电动推杆(5)底部开设有卡槽(19)；调节螺栓(14)与螺纹孔(18)螺接，且贯穿螺纹孔(18)与卡槽(19)卡接；承重架(9)与承重电动推杆(5)输出端传动连接；抬起杆(11)通过抬起铰接架(10)与承重架(9)铰接，且抬起杆(11)上开设有插孔(20)；固定架(16)固接于承重架(9)，且固定架(16)上开设有与螺纹孔(18)；锁紧螺栓(15)贯穿插孔(20)，与固定架(16)上的螺纹孔(18)螺接；观察组件(7)固接于抬起杆(11)底部；连接杆(12)固接于抬起杆(11)；压杆(13)固接于连接杆(12)底部；载盘(8)固接于压杆(13)底部；

防溅组件(6)包括有承重筒(61)、调节电动推杆(62)、固定块(63)和透明筒(64)；承重筒(61)固接于集水筒(2)外壁；调节电动推杆(62)固接于承重筒(61)内底面；固定块(63)与调节电动推杆(62)输出端传动连接；透明筒(64)固接于固定块(63)，且位于集水筒(2)内；

观察组件(7)包括有收回电动推杆(71)、调节铰接架(72)、倾斜杆(73)、摄像头(74)和蓄电池(75)；收回电动推杆(71)嵌于抛光转台(17)侧壁；蓄电池(75)固接于收回电动推杆(71)；倾斜杆(73)通过铰接架与收回电动推杆(71)输出端铰接；摄像头(74)固接于倾斜杆(73)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体新材料制备用抛光台，其特征在于，该半导体新材料制备用抛光台还包括有防水壳(21)；防水壳(21)包裹住收回电动推杆(71)、蓄电池(75)及摄像头(74)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体新材料制备用抛光台，其特征在于，该半导体新材料制备用抛光台还包括有LED灯(22)；LED灯(22)固接于摄像头(74)底部，且照射方向与摄像头(74)一致。

4.根据权利要求1所述的一种半导体新材料制备用抛光台，其特征在于，所述集水筒(2)内设置有输送抛光液的外接管，抛光转台(17)上铺设有抛光垫。

5.根据权利要求1所述的一种半导体新材料制备用抛光台，其特征在于，所述摄像头(74)内设置有无线发射器。

6.根据权利要求1所述的一种半导体新材料制备用抛光台，其特征在于，所述载盘(8)底面设置有粘贴晶片用的石蜡载片。