[发明专利]加工装置在审
申请号: | 202110539299.8 | 申请日: | 2021-05-18 |
公开(公告)号: | CN113725118A | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
发明(设计)人: | 小松淳 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/78;H01L21/268;H01L21/304 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 于靖帅;乔婉 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 加工 装置 | ||
1.一种加工装置,其对被加工物进行加工,其特征在于,
该加工装置具有:
可动单元,其能够移动;
输入单元;
显示单元;以及
控制单元,其对该可动单元、该输入单元以及该显示单元进行控制,
该控制单元具有存储部,该存储部存储维护的名称和示出执行该维护时的该可动单元的位置的位置信息,
该显示单元显示用于对该维护进行选择的选择键,
当该选择键被选择时,该控制单元使该可动单元移动到该位置信息所示的位置,
存储于该存储部的该维护的名称和该位置信息能够通过操作该输入单元而变更。
2.根据权利要求1所述的加工装置,其特征在于,
在该存储部中未存储该维护的名称和该位置信息的情况下,该显示单元显示空白栏作为该选择键,
在该存储部中存储有该维护的名称和该位置信息的情况下,该显示单元显示示出该维护的名称的显示栏作为该选择键。
3.根据权利要求1或2所述的加工装置,其特征在于,
该可动单元是对该被加工物进行保持的保持工作台或者对该被加工物进行加工的加工单元。
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