[发明专利]用于扫描隧道显微镜中移动样品的装置和方法有效

专利信息
申请号: 202110540568.2 申请日: 2021-05-18
公开(公告)号: CN113252945B 公开(公告)日: 2022-08-23
发明(设计)人: 管兰萍;徐耿钊;刘争晖;宋文涛;张春玉;陈科蓓;徐科 申请(专利权)人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
主分类号: G01Q30/20 分类号: G01Q30/20;G01Q60/10;G01Q10/00
代理公司: 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 代理人: 孙伟峰;武岑飞
地址: 215123 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 用于 扫描 隧道 显微镜 移动 样品 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种用于扫描隧道显微镜中移动样品的装置,其特征在于,所述装置包括拨叉以及方向移动器,所述拨叉的末端部安装在所述方向移动器上,所述拨叉的前端部具有通孔,并且所述前端部具有连通所述通孔的缺口,所述方向移动器用于在三维方向上对所述拨叉进行移动。

2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述方向移动器包括:Z方向移动台、Y方向移动台以及X方向移动台,所述Y方向移动台和X方向移动台彼此叠层固定并且固定于所述Z方向移动台上,所述拨叉的末端部固定安装在距离所述Z方向移动台最远的移动台上。

3.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,所述方向移动器还包括:Z方向螺旋测微器、Y方向螺旋测微器以及X方向螺旋测微器,所述Z方向螺旋测微器用于控制所述Z方向移动台沿Z方向的移动距离,所述Y方向螺旋测微器用于控制所述Y方向移动台沿Y方向的移动距离,所述X方向螺旋测微器用于控制所述X方向移动台沿X方向的移动距离。

4.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述拨叉由非磁性材料制成。

5.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述前端部设置所述缺口的位置距离所述末端部最远。

6.根据权利要求1或5所述的装置,其特征在于,所述拨叉呈扁平状。

7.根据权利要求6所述的装置,其特征在于,所述拨叉呈以所述末端部和所述前端部之间的一连线为对称轴的轴对称图形。

8.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述通孔的直径略大于所述样品的最大距离,所述样品的最大距离指的是所述样品上相距最远的两个点之间的距离。

9.一种用于扫描隧道显微镜中移动样品的方法,其特征在于,使用权利要求1至8任一项所述的装置对所述样品进行移动;其中,使用所述装置对所述样品进行移动的方法包括:

在将所述样品置于所述扫描隧道显微镜的载物台之后,所述方向移动器控制所述拨叉移动,以使所述拨叉的缺口穿过所述扫描隧道显微镜的探针,从而所述拨叉进入所述扫描隧道显微镜的内部,且所述拨叉的通孔位于所述样品的上方;

所述方向移动器控制所述拨叉朝向所述样品移动,以使所述通孔套设于所述样品的外周;

所述方向移动器控制所述拨叉移动,以带动所述样品进行移动,从而使所述样品位于目标位置。

10.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,使用所述装置对所述样品进行移动的方法还包括:

在将所述样品移动至所述目标位置之后,所述方向移动器控制所述拨叉沿远离所述样品的方向移动;

所述方向移动器控制所述拨叉移动,以使所述拨叉的缺口穿过所述扫描隧道显微镜的探针,从而使所述拨叉从所述扫描隧道显微镜的内部退出。

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