[发明专利]一种离轴抛物面镜组的装调方法

权利要求书

1.一种离轴抛物面镜组的装调方法，所述离轴抛物面镜组由N组离轴抛物面镜组组成，每组离轴抛物面镜组由两面离轴抛物面镜组成，其特征在于；

当N＝1时，装调方法包括以下步骤：

步骤一、在每个离轴抛物面镜的背面设置一背镜，背镜为平面反射镜；

步骤二、根据每个离轴抛物面镜的离轴量及焦距计算该离轴抛物面镜在箱体(10)上的理论位置，根据N组离轴抛物面镜组的理论位置设计箱体(10)的尺寸，在箱体(10)上对应每个离轴抛物面镜的位置开孔，每个孔的尺寸大于对应的离轴抛物面镜的尺寸，并对箱体(10)染黑；

步骤三、在箱体(10)上设置两个基准面，利用标准块、第一莱卡经纬仪(8)和第二莱卡经纬仪(9)配合监测精测棱镜(4)的角度，将精测棱镜(4)固定在箱体(10)的外表面上，使精测棱镜(4)与箱体(10)Y轴共轴；

步骤四、将箱体(10)和干涉仪(3)放置在操作平台上；

利用第一莱卡经纬仪(8)和第二莱卡经纬仪(9)分别在Y方向和X方向对准箱体(10)上的精测棱镜(4)，通过监测精测棱镜(4)在Y方向和X方向的俯仰角完成箱体(10)的调平；

打开干涉仪(3)，使干涉仪(3)的入射光能够覆盖第一离轴抛物面镜(1)的位置，挪动第二莱卡经纬仪(9)，使第二莱卡经纬仪(9)对准干涉仪(3)的出射光位置，通过监测干涉仪(3)的俯仰角及方位角，使干涉仪(3)与X方向共轴；

步骤五、将第一离轴抛物面镜(1)放在镜架内，并通过第一垫片将镜架固定在箱体(10)上第一离轴抛物面镜(1)对应的开孔位置，将第二莱卡经纬仪(9)对准第一离轴抛物面镜(1)的背镜，监测第一离轴抛物面镜(1)的背镜的俯仰角，并将第一离轴抛物面镜(1)的背镜的方位角置零，将第一莱卡经纬仪(8)对准精测棱镜(4)，并将第一莱卡经纬仪(8)的方位角置零；第一莱卡经纬仪(8)和第二莱卡经纬仪(9)互瞄得到旋转角度，计算出此时第一离轴抛物面镜(1)相对精测棱镜(4)的方位角，通过改变镜架倾角，使第一离轴抛物面镜(1)的俯仰角控制在90°±10”，方位角控制在0°±10”；

步骤六、在第一离轴抛物面镜(1)共焦点的理论位置处加第一狭缝(5)，在第一狭缝(5)后方放置光学相机(6)，使光学相机(6)瞄准第一狭缝(5)后成一清晰的像，固定第一狭缝(5)及光学相机(6)，通过调节第一垫片的厚度及第一离轴抛物面镜(1)的位置使光全部通过第一狭缝(5)并在第一狭缝(5)处得到最小最亮的光斑；

步骤七、重复步骤五和步骤六，直至满足角度及成像要求，固定第一离轴抛物面镜(1)，移走光学相机(6)；

步骤八、将第二离轴抛物面镜(2)放在镜架内，并将镜架通过第二垫片固定在箱体(10)上第二离轴抛物面镜(2)对应的开孔的位置，在与第二离轴抛物面镜(2)相对且与Y轴平行方向放置一平面反射镜(7)，利用第二莱卡经纬仪(9)监测平面反射镜(7)的角度，当平面反射镜(7)与Y轴共轴后将平面反射镜(7)固定；由干涉仪(3)发出的光束一部分被第二离轴抛物面镜(2)的背镜反射回干涉仪(3)，另一部分光束通过第一离轴抛物面镜(1)反射到第二离轴抛物面镜(2)入射到平面反射镜(7)后返回，此时干涉仪(3)的自准直干涉图像产生三个点，分别为干涉仪(3)自身自准直点、第二离轴抛物面镜(2)的背镜反射回干涉仪(3)的像点及光束经第一离轴抛物面镜(1)、第二离轴抛物面镜(2)、平面反射镜(7)后反射回干涉仪(3)的像点，通过改变第二垫片的厚度及第二离轴抛物面镜(2)的位置，使所述三个点重合，并产生尽可能少的干涉条纹，固定第二离轴抛物面镜(2)，移走平面反射镜(7)，完成多离轴抛物面镜组装配；

当N1时，装调方法还包括以下步骤：

步骤九、将第1+Q离轴抛物面镜(11)放在镜架内，并通过第1+Q垫片将镜架固定在箱体(10)上第1+Q离轴抛物面镜(11)对应的开孔位置，将第二莱卡经纬仪(9)对准第1+Q离轴抛物面镜(11)的背镜，监测第1+Q离轴抛物面镜(11)的背镜的俯仰角，并将第1+Q离轴抛物面镜(11)的背镜的方位角置零，将第一莱卡经纬仪(8)对准精测棱镜(4)，并将第一莱卡经纬仪(8)的方位角置零；第一莱卡经纬仪(8)和第二莱卡经纬仪(9)互瞄得到旋转角度，计算出此时第1+Q离轴抛物面镜(11)相对精测棱镜(4)的方位角，通过改变镜架倾角，使第1+Q离轴抛物面镜(11)的俯仰角控制在90°±10”，方位角控制在0°±10”；

步骤十、在第1+Q离轴抛物面镜(11)共焦点的理论位置处加第1+P狭缝(13)，在第1+P狭缝(13)后方放置光学相机(6)，使光学相机(6)瞄准第1+P狭缝(13)后成一清晰的像，固定第1+P狭缝(13)及光学相机(6)，通过调节第1+Q垫片的厚度及第1+Q离轴抛物面镜(11)的位置使光全部通过第1+P狭缝(13)并在第1+P狭缝(13)处得到最小最亮的光斑；

步骤十一、重复步骤九和步骤十，直至满足角度及成像要求，固定第1+Q离轴抛物面镜(11)，移走光学相机(6)；

步骤十二、将第2+Q离轴抛物面镜(12)放在镜架内，并将镜架通过第2+Q垫片固定在箱体(10)上第2+Q离轴抛物面镜(12)对应的开孔的位置，在与第2+Q离轴抛物面镜(12)相对且与Y轴平行方向放置平面反射镜(7)，利用第二莱卡经纬仪(9)监测平面反射镜(7)的角度，当平面反射镜(7)与Y轴共轴后将平面反射镜(7)固定；通过调整第2+Q垫片的厚度及第2+Q离轴抛物面镜(12)的位置，使第2+Q离轴抛物面镜(12)返回干涉仪(3)的自准直像点与干涉仪(3)自身自准直点两点重合并产生尽可能少的干涉条纹，且角度满足精度要求，固定第2+Q离轴抛物面镜(12)，移走平面反射镜(7)；

步骤十三、重复步骤九至步骤十二，直至装调完成；

所述P为整数，从1开始取值，每重复步骤九至步骤十二一次，P值增加1；Q为整数，从2开始取值，每重复步骤九至步骤十二一次，Q值增加2。