[发明专利]一种氮化镓器件老化箱

说明书

本发明公开了一种氮化镓器件老化箱，包括降温模块和设置在所述降温模块上的控制模块和升温模块，所述升温模块包括加热铝板和用于安装氮化镓器件的安装铝板，所述安装铝板设置在所述加热铝板上，所述加热铝板包括设置在所述安装铝板两侧的加热棒；所述降温模块包括散热筒和与所述散热筒相通的风道，所述散热筒的一端设置有第一风机，所述加热铝板固定在所述散热筒的上端；所述控制模块包括PID温控板、控制所述PID温控板的控制板和输出测试信号的测试板，所述PID温控板与所述加热棒电性连接，所述第一风机、所述PID温控板和所述测试板均分别与所述控制板电性连接。其能对氮化镓器件进行高温测试，在测试中也很容易控制氮化镓器件的温度。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种氮化镓器件老化箱。

背景技术

氮化镓（GaN）是一种具有较大禁带宽度的半导体，是研制微电子器件、光电子器件的新型半导体材料，具有宽的直接带隙、强的原子键、高的热导率、化学稳定性好等优点，而成为微波功率晶体管的优良材料，而可以做成微波器件或者充电器。

但现在测试氮化镓器件的高温性能的设备很少，即使有在测试中也不利于控制氮化镓器件的温度。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种氮化镓器件老化箱，其能对氮化镓器件进行高温测试，在测试中也很容易控制氮化镓器件的温度。

本发明的目的采用以下技术方案实现：

一种氮化镓器件老化箱，包括降温模块和设置在所述降温模块上的控制模块和升温模块，所述升温模块包括加热铝板和用于安装氮化镓器件的安装铝板，所述安装铝板设置在所述加热铝板上，所述加热铝板包括设置在所述安装铝板两侧的加热棒；所述降温模块包括散热筒和与所述散热筒相通的风道，所述散热筒的一端设置有第一风机，所述加热铝板固定在所述散热筒的上端；所述控制模块包括PID温控板、控制所述PID温控板的控制板和输出测试信号的测试板，所述PID温控板与所述加热棒电性连接，所述第一风机、所述PID温控板和所述测试板均分别与所述控制板电性连接。

优选的，所述控制模块还包括驱动板和多个第二风机，所述控制板、所述PID温控板和多个第二风机均设置在所述驱动板上，多个第二风机均与所述控制板电性连接，多个第二风机的出风口分别与所述控制板和所述PID温控板相对设置，所述安装铝板与所述第二风机的进风口相对设置。

优选的，所述控制模块还包括散热器，所述散热器设置在所述驱动板上，所述散热器与所述第二风机的出风口相对设置。

优选的，所述控制模块还包括前盖板，所述前盖板垂直固定在所述驱动板的前端，所述前盖板上设置有第一通风孔和连接板，所述第二风机的进风口与所述第一通风孔相对设置，所述连接板上设置有第一多针头接口，所述第一多针头接口与所述控制板电性连接。

优选的，所述散热筒还包括用于采集温度的温度探头，所述温度探头设置在所述散热筒的上端壁并与所述安装铝板接触。

优选的，所述温度探头包括探头本体、固定环、弹簧和挡块，所述挡块固定在所述探头本体上，所述探头本体穿过所述弹簧，所述弹簧的一端与所述挡块抵接另一端与所述固定环抵接，所述散热筒的上端壁包括空腔，所述挡块与所述空腔的上端壁抵接，所述固定环与所述空腔的下端固定连接。

优选的，所述降温模块还包括两个侧板、底板和后盖板，两个侧板垂直固定在所述底板的两端，所述后盖板垂直固定在所述底板的后端，两个侧板、所述底板和所述后盖板形成第一腔室，所述散热筒和所述风道均位于所述第一腔室内。

优选的，所述后盖板上设置有第三风机，所述第三风机的进风口与所述风道相对设置。

优选的，两个侧板上均固定设置有滑轨，所述滑轨上设置有限位块。