[发明专利]菲林片、金属网格制备方法及金属网格在审
申请号: | 202110544125.0 | 申请日: | 2021-05-18 |
公开(公告)号: | CN113176702A | 公开(公告)日: | 2021-07-27 |
发明(设计)人: | 苏伟;胡守荣;叶宗和 | 申请(专利权)人: | 深圳市志凌伟业光电有限公司 |
主分类号: | G03F1/70 | 分类号: | G03F1/70 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 郝怀庆 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙华区观澜街道大富*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 菲林片 金属 网格 制备 方法 | ||
1.一种菲林片,其特征在于,包括:
菲林片本体;以及
网格层,包括设于所述菲林片本体的表面的线路部分和网格部分,所述线路部分包括多条线路、由多条所述线路相交形成的多个交点、及设于所述线路上的断点,所述网格部分包括多个由所述线路围合形成的网格,所述断点数量为多个,多个所述断点呈折线状排布,所述交点周围的所述断点数量为3个以下。
2.如权利要求1所述的菲林片,其特征在于,所述断点的宽度为所述线路宽度的1/30至1倍。
3.如权利要求2所述的菲林片,其特征在于,所述断点的宽度为所述线路宽度的1/25至1/2倍。
4.如权利要求1所述的菲林片,其特征在于,所述断点长度延伸方向与所述线路延伸方向之间的夹角为45°-90°。
5.如权利要求4所述的菲林片,其特征在于,所述断点长度延伸方向与所述线路延伸方向之间的夹角为60°-90°。
6.如权利要求5所述的菲林片,其特征在于,所述断点长度延伸方向与所述线路延伸方向之间的夹角为90°。
7.一种金属网格制备方法,其特征在于,包括:
在金属片表面涂布感光材料形成感光层;
将所述金属片贴附至如权利要求1-6任一项所述的菲林片上,进行曝光;
对所述金属片使用显影药水;
对所述金属片使用蚀刻液;
去除所述金属片表面留下的所述感光层,得到完成图案化的金属网格。
8.如权利要求7所述的方法,其特征在于,当所述感光材料为负性光阻或干膜时,所述菲林片线路部分透光;
当所述感光材料为正性光阻时,所述菲林片的网格部分和断点透光。
9.如权利要求7所述的方法,其特征在于,所述在所述金属片表面涂布感光材料形成感光层的步骤之前或之后还包括:
对所述金属片进行裁切。
10.一种金属网格,其特征在于,所述金属网格由权利要求7-9任一项所述的方法制成,金属网格包括:
多条金属线、及多个设于所述金属线上的断点。
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