[发明专利]一种基于氮化硅波导谐振腔的光学陀螺系统

权利要求书

1.一种光学陀螺系统，其特征在于，包括：光源、调制模块、第一光环形器、第二光环形器、谐振腔、第一波导耦合器、第二波导耦合器、信号接收模块和锁频模块；调制模块包括直波导调制器和Y波导相位调制器；

所述光源与所述直波导调制器的输入端连接；所述直波导调制器用于对所述光源发出的光信号进行信号调制；所述直波导调制器的输出端与所述Y波导相位调制器的输入端连接；所述Y波导相位调制器的上调制臂的输出端与第一光环形器的输入端连接；所述Y波导相位调制器的下调制臂的输出端与第二光环形器的输入端连接；所述Y波导相位调制器用于将经过调制后的光信号进行分光；所述第一光环形器的输出端与所述第一波导耦合器连接；所述第二光环形器的输出端与所述第二波导耦合器连接；所述第一光环形器的反射端与所述信号接收模块连接；所述第二光环形器的反射端与所述锁频模块连接；所述锁频模块还与所述光源连接；所述第一波导耦合器、所述第二波导耦合器还与所述谐振腔连接；

所述谐振腔为超宽度深比结构的谐振腔。

2.根据权利要求1所述的光学陀螺系统，其特征在于，所述谐振腔的材料为氮化硅。

3.根据权利要求2所述的光学陀螺系统，其特征在于，所述谐振腔为透射式谐振腔。

4.根据权利要求1所述的光学陀螺系统，其特征在于，所述谐振腔为环形谐振腔。

5.根据权利要求1所述的光学陀螺系统，其特征在于，所述光学陀螺系统还包括光隔离器；所述光隔离器的输入端与所述光源连接；所述光隔离器的输出端与所述直波导调制器连接。

6.根据权利要求1所述的光学陀螺系统，其特征在于，所述信号接收模块包括：依次连接的第一光电探测器、第一信号解调装置和陀螺信号采集装置；所述第一光电探测器的输入端还与所述第一光环形器的反射端连接。

7.根据权利要求1所述的光学陀螺系统，其特征在于，所述锁频模块包括第二光电探测器和第二信号解调装置；所述第二光电探测器的输入端与所述第二光环形器的反射端连接；所述第二光电探测器的输出端与所述第二信号解调装置的输入端连接；所述第二信号解调装置的输出端与所述光源连接。

8.根据权利要求1所述的光学陀螺系统，其特征在于，所述光源为激光器。

9.根据权利要求8所述的光学陀螺系统，其特征在于，所述激光器为可调谐窄线宽激光器。