[发明专利]显示面板及其制备方法在审
申请号: | 202110547924.3 | 申请日: | 2021-05-19 |
公开(公告)号: | CN113345916A | 公开(公告)日: | 2021-09-03 |
发明(设计)人: | 马倩;周星宇 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/77 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 吕姝娟 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 面板 及其 制备 方法 | ||
1.一种显示面板,其特征在于,包括:
多个发光单元;
多个驱动单元,每一所述驱动单元与一所述发光单元电连接,每一所述驱动单元包括至少三个薄膜晶体管,至少一个所述驱动单元中的两个所述薄膜晶体管在所述发光单元所在平面的正投影至少部分重合。
2.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述驱动单元包括:
驱动薄膜晶体管,用于驱动所述发光单元工作;
开关薄膜晶体管,用于控制所述驱动薄膜晶体管导通或者断开,所述开关薄膜晶体管与所述驱动薄膜晶体管间隔设置;以及
补偿薄膜晶体管,用于补偿所述驱动薄膜晶体管驱动所述发光单元工作,所述补偿薄膜晶体管与所述开关薄膜晶体管嵌套设置。
3.根据权利要求2所述的显示面板,其特征在于,所述开关薄膜晶体管包括第一栅极,所述补偿薄膜晶体管和所述开关薄膜晶体管共用所述第一栅极。
4.根据权利要求3所述的显示面板,其特征在于,所述显示面板还包括基板,所述开关薄膜晶体管包括:
第一有源部,设置于所述基板;
第一绝缘部,设置于所述第一有源部;
第一栅极,设置于所述第一绝缘部;
第二绝缘部,设置于所述第一栅极并覆盖住所述第一有源部、所述第一绝缘部和所述第一栅极;以及
第一源极和第一漏极,设置于所述第二绝缘部背离所述第一栅极的一侧,所述第一源极和所述第一漏极分别与所述第一有源部电连接;
所述补偿薄膜晶体管包括:
第二有源部,设置于所述第二绝缘部与所述第一源极之间;
第三绝缘部,设置于所述第二有源部并覆盖住所述第二有源部;以及
第二源极和第二漏极,设置于所述第三绝缘部背离所述第一栅极的一侧且与所述第一源极位于同一层,所述第二源极和所述第二漏极分别与所述第二有源部电连接。
5.根据权利要求4所述的显示面板,其特征在于,所述第一有源部的长度方向与所述第二有源部的长度方向垂直。
6.根据权利要求4所述的显示面板,其特征在于,所述驱动薄膜晶体管设置于所述基板,所述显示面板还包括:
遮光部,设置于所述基板,并相对所述驱动薄膜晶体管设置,所述驱动薄膜晶体管与所述遮光部电连接;
缓冲部,设置于所述遮光部与所述驱动薄膜晶体管之间。
7.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述驱动单元包括:
驱动薄膜晶体管,用于驱动所述发光单元工作;
至少两个开关薄膜晶体管,用于控制所述驱动薄膜晶体管导通或者断开,所述开关薄膜晶体管与所述驱动薄膜晶体管间隔设置,两个所述开关薄膜晶体管嵌套设置;
或者所述驱动单元包括:
驱动薄膜晶体管,用于驱动所述发光单元工作;
至少两个补偿薄膜晶体管,用于补偿所述驱动薄膜晶体管驱动所述发光单元工作,所述补偿薄膜晶体管与所述驱动薄膜晶体管间隔设置,两个所述补偿薄膜晶体管嵌套设置。
8.一种显示面板的制备方法,其特征在于,包括:
提供一基板;
在所述基板上制备多个薄膜晶体管,并将所述多个薄膜晶体管划分为多个驱动单元,每一所述驱动单元包括至少三个薄膜晶体管,至少一个所述驱动单元中的两个所述薄膜晶体管在所述发光单元所在平面的正投影至少部分重合;
对应每一所述驱动单元上形成发光单元,并将所述发光单元与所述驱动单元电连接。
9.根据权利要求8所述的制备方法,其特征在于,所述在所述基板上制备多个薄膜晶体管包括:
制作驱动薄膜晶体管,所述驱动薄膜晶体管用于驱动所述发光单元工作;
制作开关薄膜晶体管,所述开关薄膜晶体管与所述驱动薄膜晶体管间隔设置,所述开关薄膜晶体管用于控制所述驱动薄膜晶体管导通或者断开;
制作补偿薄膜晶体管,所述补偿薄膜晶体管与所述开关薄膜晶体管嵌套设置,所述补偿薄膜晶体管用于补偿所述驱动薄膜晶体管驱动所述发光单元工作。
10.根据权利要求9所述的制备方法,其特征在于,所述补偿薄膜晶体管与所述开关薄膜晶体管嵌套设置包括:
在所述基板上形成第一有源部;
在所述第一有源部上分别形成第一绝缘部和第一栅极,所述第一绝缘部位于所述第一有源部和所述第一栅极之间;
在所述第一栅极上形成第二绝缘部,所述第二绝缘部覆盖住所述第一有源部、所述第一绝缘部和所述第一栅极;
在所述第二绝缘部上形成第二有源部;
在所述第二有源部上形成第三绝缘部并覆盖住所述第二有源部;
在所述第三绝缘部上分别形成同层的第一源极和第一漏极以及第二源极和第二漏极,所述第一源极和所述第一漏极分别与所述第一有源部电连接以形成所述开关薄膜晶体管,所述第二源极和所述第二漏极分别与所述第二有源部电连接以形成所述补偿薄膜晶体管。
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