[发明专利]准分子灯

说明书

本发明提供一种被进一步改良的准分子灯作为在放电容器内封入稀有气体和卤素的准分子灯。准分子灯(12)具备：放电容器(13)，封入有稀有气体和卤素作为发光气体；和一对第一电极(14)以及第二电极(15)，在放电容器(13)的内部产生电介质阻挡放电。稀有气体是氙或氪。放电容器(13)在其内部具备位于第一电极(14)与第二电极(15)之间且形成放电的放电形成区域和与放电形成区域连通且未形成放电的非放电区域。在将放电容器(13)的内部的空间体积设为Vb[mm³]、将放电形成区域中的放电容器的内表面积设为Sd[mm²]、将封入于放电容器(13)内的卤素原子分压设为Ph[Torr]时，满足(Vb×Ph)/Sd≥4.50。

技术领域

本发明涉及在放电容器内封入有稀有气体和卤素的准分子灯。

背景技术

以往，已知有封入稀有气体和卤素作为发光气体的准分子灯。

封入稀有气体和卤素的准分子灯由于其组合而具有特有的发光波长。例如，通过作为稀有气体的氙(Xe)、氪(Kr)和作为卤素的氯(Cl)、溴(Br)的组合，示出中心波长为200nm-300nm附近为止的多样的发光。

通过这样的稀有气体和卤素的组合而得到的特有的发光波长由来于由稀有气体原子和卤素原子形成的受激二聚物(激基复合物)的发光，期待应用于多种用途。

作为一例，参照图18对使用氪(Kr)作为稀有气体、使用氯(Cl)作为卤素的情况进行说明。如图18所示，通过在放电形成区域A内形成的放电而放出的电子，存在于放电形成区域A内的氪(Kr)被激励或离子化，与存在于放电形成区域A内的氯(Cl)碰撞，由此生成KrCl*(氯化氪激基复合物)。该KrCl*是极其不稳定的化合物，在短时间内分离为氪(Kr)和氯(Cl)，此时产生固有的发光(准分子发光)L。

然而，在发光气体中使用氯作为卤素的准分子灯具有在短时间内照度容易降低、发光寿命短的问题。这是因为，用于发光气体的氯通过离子化、激励而高能量化，从而被打入构成放电容器的真空管α内(石英玻璃构件内)，从放电形成区域A消失。

例如在专利文献1中公开了如下内容：在玻璃制的放电容器内封入有氯作为放电气体的准分子灯中，为了稍微抑制因点亮时间的经过而氯被取入到构成放电容器的石英玻璃中，使构成放电容器的平面部的长边方向侧缘部在放电间隙方向上向外鼓出。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014-049280号公报

发明所要解决的课题

然而，在上述专利文献1所记载的技术中，抑制氯的消失的效果是有限的，并且不是能够应用于多种方式的放电容器的方法，因此作为对策不充分。

因此，本发明的课题在于提供被进一步改良的准分子灯作为放电容器内封入稀有气体和卤素的准分子灯。

发明内容

为了解决上述课题，本发明的准分子灯的一个方式具备：放电容器，封入有稀有气体和卤素作为发光气体；以及一对第一电极以及第二电极，使所述放电容器的内部产生电介质阻挡放电，所述准分子灯的特征在于，所述稀有气体是氙或氪，所述放电容器在其内部具备：放电形成区域，位于所述第一电极与所述第二电极之间，形成放电；以及非放电区域，与所述放电形成区域连通，不形成放电，在将所述放电容器的内部的空间体积设为Vb[mm³]、将所述放电形成区域中的所述放电容器的内表面积设为Sd[mm²]、将封入于所述放电容器内的卤素原子分压设为Ph[Torr]时，满足下述的式子。

(Vb×Ph)/Sd≥4.50