[发明专利]一种排线限位板探针组合结构

说明书

本发明一种排线限位板探针组合结构属于半导体测试技术领域；在该排线限位板探针组合结构中，转接探针与限位板之间设置有第一轴承，所述第一轴承的外圈与限位板过盈配合，限位板为绝缘材料板，所述第一轴承的内圈与转接探针过盈配合，在第一轴承的上方，依次设置有与第一轴承同轴的齿轮和第二轴承；排线包括外皮和芯线，所述外皮套在第二轴承的外圈上，所述芯线焊接在第二轴承的外圈上，芯线依次通过第二轴承的外圈、第二轴承的滚动体和第二轴承的内圈实现与转接探针短路；将本发明应用于同步或类同步测试的探针转接件及插座结构及关键结构中，能够实现对相同芯片进行同步或类同步测试，或对不同芯片进行类同步测试，节约重复性测试时间。

本申请是发明专利申请《同步或类同步测试的探针转接件及插座结构及关键结构》的分案申请。

原案申请日：2020-11-29。

原案申请号：2020113659525。

原案发明名称：同步或类同步测试的探针转接件及插座结构及关键结构。

技术领域

本发明一种排线限位板探针组合结构属于半导体测试技术领域。

背景技术

随着半导体技术和MEMS技术的发展，集成电路芯片结构也日趋复杂。为了确保集成电路的电气质量，需要在芯片封装前进行测试。测试过程中，可以将探针插入插座进行测试。然而，随着探针尺寸逐渐减小，在微米级甚至亚微米级尺寸下，探针与插座的对准就变得困难，如果硬插入（插座位置不随探针调整，固定不动），容易造成探针的损坏，同时，因插入会造成探针弯曲，容易出现相邻两个探针距离过近，在进行大功率芯片测试过程中，由于电流过大，容易出现探针之间放电而造成短路的问题。

同时，精密测量技术告诉我们，要想让测试结果具有更大的置信区间，即测量结果更加可信、可靠，需要进行多次测量，那么，探针进行拆装反复测试就显得尤为重要，在微米级甚至亚微米级尺寸下，进行探针与插座的反复拆装且不损伤探针就显得尤为困难。

申请号为201711115635.6的发明专利《垂直式探针卡之探针装置》，涉及到了一种装针方法，该方法通过移动中间导板，使得探针向同一方向弯曲，虽然解决的是“盖头不易”问题，但是该技术方案能够成功限制探针之间的距离，因此能够解决大电流下探针之间放电而造成短路的问题。然而，这种方法由于缺少对中间导板进行精密定位的结构，因此在移动中间导板时，非常容易造成探针弯曲程度超出弹性变形范围，进而造成探针不可恢复，进而装针拆针不可逆，因此无法对统一探针进行拆装反复测试。

针对此问题，本公司申请了发明专利《一种探针及插座结构》及《一种探针及插座匹配方法》，在这两项专利中，通过三角体基座和均分架的机构设置，同时配合先插入、再对准、后接触的步骤，降低了探针与插座的对准难度，不容易损坏探针，同时实现了拆装过程可逆，有利于进行重复性测试，同时还能够限制探针之间的距离，解决大电流下探针之间放电而造成短路的问题。

然而，这两项专利还有一个问题无法解决，首先，对某一种芯片进行重复测试需要依次进行，浪费时间，其次，这种探针及插座结构对芯片的兼容性差，无法对不同芯片进行同步测试。

发明内容

本申请在本公司发明专利《一种探针及插座结构》及《一种探针及插座匹配方法》的基础上，作进一步改进，公开了一种同步或类同步测试的探针转接件及插座结构及关键结构，实现对相同芯片进行同步或类同步测试，或对不同芯片进行类同步测试。

本发明的目的是这样实现的：

同步或类同步测试的探针转接件及插座结构，包括相互匹配的探针转接件和插座结构；