[发明专利]真空直线导入器

权利要求书

1.一种真空直线导入器，其特征在于：微分头(10)的顶杆(11)位于外护管(20)与微分头(10)相连端的外护管(20)内部，顶杆(11)的杆端与顶推杆(30)杆端为球面与平面构成抵压式配合且两者之间的正压力与顶推杆(30)杆芯同芯布置，法兰套(50)的一端与远离微分头(10)所在端的外护管(20)的端部相连，顶推杆(30)的另一端延伸至法兰套(50)的外部，置于外护管(20)内部的波纹管(60)一端密封式连接在外护管(20)内部的法兰套(50)上、另一端与顶推杆(30)上的靠近顶杆(11)一端的杆端密封式连接，顶推杆(30)与法兰套(50)之间构成直线位移配合。

2.根据权利要求1所述的真空直线导入器，其特征在于：所述的顶杆(11)的杆端面与顶推杆(30)端部的球面(41)的顶点抵靠配合，球面(41)的顶点与顶推杆(30)同芯布置。

3.根据权利要求2所述的真空直线导入器，其特征在于：圆钢珠(40)位于顶推杆(30)杆端的锥形盲孔(31)处，顶推杆(30)的杆芯与圆锥形盲孔(31)的孔芯同芯布置，圆钢珠(40)显露在锥形盲孔(31)外部的圆钢珠(40)的球面(41)顶点抵靠在顶杆(11)杆端平面上。

4.根据权利要求2所述的真空直线导入器，其特征在于：顶推杆(30)杆端设置有保持架(33)，圆钢珠(40)的部分球面(41)外凸至保持架(33)外部。

5.根据权利要求2或3所述的真空直线导入器，其特征在于：外护管(20)内的顶推杆(30)与法兰套(50)之间设置有弹簧(70)，弹簧(70)提供弹力驱使顶推杆(30)向微分头(10)所在端位移。

6.根据权利要求2或3所述的真空直线导入器，其特征在于：所述的顶推杆(30)位于外护管(20)内的杆端为T形头(32)，所述的T形头(32)外壁与限位调节套管(80)的一端螺纹连接，限位调节套管(80)的另一端向法兰套(50)所在侧延伸。

7.根据权利要求5所述的真空直线导入器，其特征在于：所述的顶推杆(30)位于外护管(20)内的杆端为T形头(32)，所述的T形头(32)外壁与限位调节套管(80)的一端螺纹连接，限位调节套管(80)的另一端向法兰套(50)所在侧延伸，弹簧(70)围设在限位调节套管(80)管体外部且其一端抵靠在限位调节套管(80)的外壁的台阶面(81)上、另一端抵靠在法兰套(50)的内侧。

8.根据权利要求4所述的真空直线导入器，其特征在于：所述的保持架(33)包括螺母段和位于螺母段一端的底盖(331)，底盖(331)中部有孔径小于钢珠(40)直径的孔，钢珠(40)的部分球面从该孔处凸出至底盖(331)外部。

9.根据权利要求1所述的真空直线导入器，其特征在于：所述的微分头(10)上的固定套管(12)和法兰套(50)的一侧小直径柱台分别插置于外护管(20)的两端管孔处且插接配合段有径向锁紧螺钉(90)。

10.根据权利要求1所述的真空直线导入器，其特征在于：顶推杆(30)与法兰套(50)之间由直线轴承(100)构成限位导向的直线位移配合。