[发明专利]基于全忆阻器的人工视觉神经系统及其制备方法和应用有效
申请号: | 202110559297.5 | 申请日: | 2021-05-21 |
公开(公告)号: | CN113346017B | 公开(公告)日: | 2023-03-24 |
发明(设计)人: | 闫小兵;裴逸菲;赵莹 | 申请(专利权)人: | 河北大学 |
主分类号: | H10N70/00 | 分类号: | H10N70/00;H10N79/00;C23C14/04;C23C14/35;C23C14/06;C23C14/18;C23C14/08 |
代理公司: | 石家庄国域专利商标事务所有限公司 13112 | 代理人: | 张莉静 |
地址: | 071002 *** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 全忆阻器 人工 视觉 神经系统 及其 制备 方法 应用 | ||
1.一种基于全忆阻器的人工视觉神经系统,其特征在于,包括光敏忆阻器和神经元电路,所述神经元电路包括阈值开关型忆阻器、电容器和电阻器;所述光敏忆阻器用于模拟生物突触,并感知可见光,所述神经元电路用于模拟生物神经元;所述光敏忆阻器的结构自下而上依次包括衬底、PbS量子点膜层和TiN电极膜层。
2.根据权利要求1所述人工视觉神经系统,其特征在于,所述衬底为ITO或Pt,PbS量子点膜层的厚度为2~20nm,TiN电极膜层的厚度为10~50nm。
3.根据权利要求1所述人工视觉神经系统,其特征在于,所述阈值开关型忆阻器的结构自下而上依次包括衬底、Ag底电极层、二硫化钼膜层、Ag膜层、氧化钼膜层和Ag顶电极层。
4.根据权利要求3所述人工视觉神经系统,其特征在于,所述阈值开关型忆阻器的衬底为Pt或Si,Ag底电极层的厚度为10~70nm,二硫化钼膜层的厚度为5~50nm,Ag膜层的厚度为5~10nm,氧化钼膜层的厚度为5~50nm,Ag顶电极层的厚度为10~70nm。
5.一种制备权利要求1~4任一所述人工视觉神经系统的方法,其特征在于,将光敏忆阻器的输出端与阈值开关型忆阻器的输入端相连,同时光敏忆阻器的输出端与电容器相连,电容器的另一端连接电阻器,同时电容器的另一端接地,电阻器的另一端与阈值开关型忆阻器的输出端连接。
6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述光敏忆阻器通过以下方法制备得到:
a、将PbS量子点溶液旋涂到经过预处理的衬底上,制成PbS量子点膜层;
b、在步骤a所得样品上放置掩膜版,所述掩膜版上均布有直径为0.5~1mm的圆形孔,然后固定到磁控溅射设备腔体的衬底台上,并将腔体抽真空至1×10-4 ~4×10-4Pa;
c、向腔体内通入20~30sccm的Ar,调整充气阀使腔体内的压强维持在1~6Pa,打开直流源,调整直流源功率为13~17W,压强0.5~1Pa,使TiN靶材起辉,预溅射7~13min;
d、TiN靶材预溅射7~13min后,正式溅射55~65min,从而在PbS量子点膜层上形成TiN电极膜层。
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