[发明专利]一种透射反射式数字全息显微系统

权利要求书

1.一种透射反射式数字全息显微系统，包括反射式数字全息显微镜光路和透射式数字全息显微镜光路，

所述反射式数字全息显微镜光路为：第一光束(1a)经过第一偏振片(2)改变偏振方向，经过偏振分束立方体(3)后分为两束偏振态垂直的光波，其中经过偏振分束立方体(3)透射的光为第一物光束，形成样品(8)反射的第一物光光路，经过所述偏振分束立方体(3)反射的光为第一参考光束，形成样品(8)反射的第一参考光光路；

所述透射式数字全息显微镜光路为：第二光束(1b)经过第二偏振片(14)改变偏振方向，经过所述偏振分束立方体(3)后分为两束偏振态垂直的光波，其中经过所述偏振分束立方体(3)反射的光为第二物光束，形成样品(8)透射的第二物光光路，经过所述偏振分束立方体(3)透射的光为第二参考光束，形成样品(8)透射的第二参考光光路；

第一参考光束经二向色镜(10)反射，第二参考光束经所述二向色镜(10)透射。

2.如权利要求1所述的透射反射式数字全息显微系统，其特征在于，所述第一物光光路为：第一物光束依次经过第一反射镜(4)反射、第一透镜(5)透射、第一非偏振分束立方体(6)透射和第一物镜(7)后照射到样品(8)表面，样品(8)的反射光经过所述第一物镜(7)后经所述第一非偏振分束立方体(6)反射，然后经第三透镜(12)准直后，入射到第一相机(13)，被所述第一相机(13)接收。

3.如权利要求2所述的透射反射式数字全息显微系统，其特征在于，第一物光束在入射到所述第一相机(13)之前还经过第一滤波片(22)滤波，所述第一滤波片(22)用于过滤不同波长的光束且只透射所述第一光束(1a)。

4.如权利要求3所述的透射反射式数字全息显微系统，其特征在于，所述第一参考光光路为：第一参考光束经过二分之一波片(9)调整偏振方向至水平偏振态后经二向色镜(10)反射，然后经第二透镜(11)聚焦、所述第一非偏振分束立方体(6)透射和所述第三透镜(12)准直后经所述第一滤波片(22)滤波，入射到所述第一相机(13)，与第一物光束产生干涉，干涉信息被所述第一相机(13)接收后经计算机(21)处理运算后形成样品(8)的表面反射三维信息。

5.如权利要求4所述的透射反射式数字全息显微系统，其特征在于，所述第二物光光路为：第二物光束依次经过所述第一反射镜(4)反射、所述第一透镜(5)透射、所述第一非偏振分束立方体(6)透射和所述第一物镜(7)后照射到样品(8)表面，并穿过样品(8)由第二物镜(17)接收，然后经第二非偏振分束立方体(18)反射和第五透镜(19)准直后，入射到第二相机(20)，被所述第二相机(20)接收。

6.如权利要求5所述的透射反射式数字全息显微系统，其特征在于，第二物光束在入射到所述第二相机(20)之前还经过第二滤波片(23)滤波，所述第二滤波片(23)用于过滤不同波长的光束且只透射所述第二光束(1b)。

7.如权利要求6所述的透射反射式数字全息显微系统，其特征在于，所述第二参考光光路为：第二参考光束经过二分之一波片(9)调整偏振方向至垂直偏振态后经所述二向色镜(10)透射，然后经第二反射镜(15)反射、第四透镜(16)聚焦、第二非偏振分束立方体(18)透射和第五透镜(19)准直后经所述第二滤波片(23)滤波，入射到所述第二相机(20)，与第二物光束产生干涉，干涉信息被所述第二相机(20)接收后经所述计算机(21)处理运算后形成样品(8)的厚度三维信息。

8.如权利要求1所述的透射反射式数字全息显微系统，其特征在于，所述第一光束(1a)和所述第二光束(1b)使用激光(111)与扩束镜产生，所述扩束镜包含第六透镜(112)、第七透镜(113)和针孔(114)。

9.如权利要求1所述的透射反射式数字全息显微系统，其特征在于，所述第一光束(1a)和所述第二光束(1b)使用光纤耦合激光器(221)与准直透镜(222)产生。

10.如权利要求1所述的透射反射式数字全息显微系统，其特征在于，所述样品(8)包括半导体、微光学器件、生物样品或mini/micro LED。