[发明专利]一种采用狭缝阵列波导的阵列波导光栅

权利要求书

1.一种采用狭缝阵列波导的阵列波导光栅，其特征在于，包括顺次设置的输入信道波导（101）、输入平板波导（103）、阵列波导（106）、输出平板波导（110）和输出信道波导（113）；

输入信道波导（101）与输入平板波导（103）相连，将包含多个波长的信号光送入输入平板波导（103），输入平板波导（103）将信号光分配并耦合进入阵列波导（106）；所述阵列波导（106）的输出端通过输出平板波导（110）连接输出信道波导（113）；

所述阵列波导（106）中每一路波导分别包括顺次设置的矩形波导（114）、第一狭缝波导耦合器（105）、水平狭缝波导（107）、第二狭缝波导耦合器（108）；

阵列波导（106）中相邻两路波导之间具有设定的长度差ΔL，对传输的信号光进行相位调制；输出平板波导（110）用于将阵列波导（106）传输的具有相位差的信号光进行干涉叠加，输出信道波导（113）用于输出干涉分离后的不同波长的信号光；

所述输入信道波导（101）与输入平板波导（103）连接处设置有第一锥形耦合结构（102）；

所述阵列波导（106）与输入平板波导（103）连接处设置有第二锥形耦合结构（104）；

所述阵列波导（106）与输出平板波导（110）连接处设置有第三锥形耦合结构（109）；

所述输出信道波导（113）与输出平板波导（110）连接处设置有第四锥形耦合结构（111）；

所述第一狭缝波导耦合器（105）用于将矩形波导（114）中的信号光耦合进入水平狭缝波导（107）；所述第二狭缝波导耦合器（108）用于将水平狭缝波导（107）中的信号光耦合进入矩形波导（114）。

2.根据权利要求1 所述的采用狭缝阵列波导的阵列波导光栅，其特征在于，所述第二狭缝波导耦合器（108）具有锥形耦合结构。

3.根据权利要求1 所述的采用狭缝阵列波导的阵列波导光栅，其特征在于，所述输入信道波导（101）、输入平板波导（103）、矩形波导（114）、输出平板波导（110）和输出信道波导（113）的波导材料为氮化硅。

4.根据权利要求1 所述的采用狭缝阵列波导的阵列波导光栅，其特征在于，所述水平狭缝波导（107）中的上、下层折射率区域波导材料为硅，中间狭缝区域波导材料为氮化硅。