[发明专利]一种二次电子探头以及高温扫描电子显微镜

权利要求书

1.一种二次电子探头，其特征在于：包括设置在电子入口端的高压电子管，所述高压电子管包括相对设置的内收集层和外收集层，所述外收集层周向角度可调的安装在所述内收集层上，所述内收集层和所述外收集层之间具有间隙，所述内收集层和所述外收集层上均分布有若干电子收集孔，所述内收集层和所述外收集层上的所述电子收集孔对应设置，所述外收集层上的相邻所述电子收集孔之间具有遮挡部，所述内收集层上的相邻所述电子收集孔之间也具有遮挡部，所述遮挡部的面积不小于相对设置在所述内收集层或所述外收集层上的所述电子收集孔的面积。

2.根据权利要求1所述的一种二次电子探头，其特征在于：所述内收集层和所述外收集层上的所述电子收集孔的分布形式和大小均相同。

3.根据权利要求2所述的一种二次电子探头，其特征在于：所述电子收集孔从所述内收集层或所述外收集层的中部向外宽度逐渐增加。

4.根据权利要求1-3任一项所述的一种二次电子探头，其特征在于：所述内收集层与所述外收集层之间还设置有定位结构。

5.根据权利要求4所述的一种二次电子探头，其特征在于：所述外收集层上设置有环形壁，所述外收集层通过所述环形壁将所述内收集层套设在内部，所述环形壁上开设有定位孔，所述定位结构为定位螺栓，所述定位螺栓穿过所述定位孔与所述内收集层侧壁抵紧。

6.根据权利要求1所述的一种二次电子探头，其特征在于：还包括沿电子入射方向依次连接在所述高压电子管后方的绝缘接管、密封接管、安装法兰、固定管以及电子接收器。

7.一种高温扫描电子显微镜，其特征在于：包括电镜腔室、设置在所述电镜腔室内的XYZ移动台、设置在所述电镜腔室外部且与所述电镜腔室连通的电子枪、如权利要求1-6任一项所述的二次电子探头；所述XYZ移动台上设置有高温拉伸台。

8.根据权利要求7所述的一种高温扫描电子显微镜，其特征在于：所述电镜腔室的所述二次电子探头侧还设置有背散射探头和EBSD探头。

9.根据权利要求8所述的一种高温扫描电子显微镜，其特征在于：还包括主动隔振台，所述电镜腔室设置在所述主动隔振台上。

10.根据权利要求9所述的一种高温扫描电子显微镜，其特征在于：所述电镜腔室上方设置有用于清洗检测样品和所述电镜腔室的清洗离子源，所述电镜腔室下方设置有用于对所述电镜腔室抽真空的分子泵。