[发明专利]一种螺旋波-离子回旋共振耦合放电系统在审
| 申请号： | 202110564526.2 | 申请日： | 2021-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN113133174A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 苌磊;袁小刚;杨鑫;周海山;罗广南 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;H05H1/46;H05H1/16 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 李晓莉 |
| 地址： | 230031 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 螺旋 离子 回旋 共振 耦合 放电 系统 | ||
1.一种螺旋波-离子回旋共振耦合放电系统，其特征在于，包括依次设置的进气管道(1)、进气密封(2)、放电管(4)、螺旋波天线(5)、隔离板(6)、离子回旋天线(8)、扩散隔板(9)、扩散密封(10)、扩散泵口(12)、磁体线圈(13)、天线泵口(14)；系统主要包括螺旋波放电室(3)、离子回旋加热室(7)和扩散室(11)，其中，螺旋波放电室(3)的一端设置有进气管道(1)，进气管道(1)与螺旋波放电室(3)连接处设置有进气密封(2)；螺旋波放电室(3)内设置有放电管(4)和螺旋波天线(5)；隔离板(6)连接天线侧分为螺旋波放电室(3)和离子回旋加热室(7)，离子回旋加热室(7)内设置有离子回旋天线(8)；扩散室(11)通过扩散隔板(9)、扩散密封(10)与螺旋波放电室(3)、离子回旋加热室(7)隔绝真空；扩散室(11)一侧设置有扩散泵口(12)；螺旋波放电室(3)和离子回旋加热室(7)外侧均环绕有磁体线圈(13)；螺旋波放电室(3)的一侧设置有天线泵口(14)。
2.根据权利要求1所述的一种螺旋波-离子回旋共振耦合放电系统，其特征在于：等离子体激发、加热和扩散进行分段式结构。
3.根据权利要求1所述的一种螺旋波-离子回旋共振耦合放电系统，其特征在于：螺旋波天线与离子回旋加热天线均置于真空环境。
4.根据权利要求2所述的一种螺旋波-离子回旋共振耦合放电系统，其特征在于：通过螺旋波-离子回旋加热的高效耦合，实现脉冲或连续多模式放电。
5.根据权利要求1所述的一种螺旋波-离子回旋共振耦合放电系统，其特征在于：等离子体扩散腔获得电子密度为1015-1019m-3，离子温度为0-100eV的等离子体。
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