[发明专利]可防误溅射的物理气相沉积设备

权利要求书

1.一种可防误溅射的物理气相沉积设备，其特征在于，包括腔体、溅射装置、基座、固定遮蔽环、伸缩遮挡模块、可伸缩管、多个密封环、多个轴承及伸缩驱动机构；所述溅射装置位于所述腔体顶部；所述基座、固定遮蔽环、伸缩遮挡模块及多个密封环位于所述腔体内，且所述伸缩遮挡模块位于所述溅射装置和所述基座之间；所述伸缩遮挡模块包括多个不同内径的可动遮蔽环，多个可动遮蔽环自上而下设置，各所述可动遮蔽环由2个位于同一平面的可动遮挡部构成，各所述可动遮挡部与所述伸缩驱动机构相连接；所述伸缩驱动机构包括驱动单元和多个伸缩单元，所述多个伸缩单元与各所述可动遮蔽环的各可动遮挡部一一对应连接；所述伸缩单元包括推杆和可伸缩管，所述可伸缩管位于所述腔体内，所述推杆设置于所述可伸缩管内，且一端与所述可伸缩管密封连接，另一端自腔体内延伸至与腔体外的驱动单元相连接，所述多个密封环与所述多个伸缩单元一一对应设置，各所述可伸缩管的一端经由所述密封环与所述腔体相连接，另一端与所述可动遮挡部相连接；所述多个轴承与所述多个伸缩单元一一对应设置，且所述轴承设置于所述腔体的侧壁上，所述推杆自所述腔体内经由所述轴承延伸至腔体外；当同一可动遮蔽环的2个可动遮挡部在所述伸缩驱动机构的驱动下相互接触时构成无缝闭合的环形体，所述环形体的中心显露出晶圆的镀膜区域，以对晶圆进行边缘遮挡；所述固定遮蔽环位于所述腔体内，且位于所述可动遮蔽环的上方，所述固定遮蔽环的中心显露出所述基座；所述固定遮蔽环包括第一部分和第二部分，所述第一部分沿所述腔体的周向分布，所述第二部分的一端与所述第一部分的底部相连接，另一端朝腔体中心方向延伸，所述固定遮蔽环的正投影至少覆盖所述腔体和所述可动遮蔽环之间的区域。

2.根据权利要求1所述的物理气相沉积设备，其特征在于，所述多个可动遮蔽环的内径自上而下依次增大或依次减小。

3.根据权利要求1所述的物理气相沉积设备，其特征在于，各所述可动遮蔽环由两个半圆环的可动遮挡部构成，各半圆环的可动遮挡部与其他半圆环的可动遮挡部相接触的端口面形状包括斜线型、直角型、Z型和锯齿形中的任意一种。

4.根据权利要求1所述的物理气相沉积设备，其特征在于，所述驱动单元包括电机部和传动部，所述电机部经由所述传动部与位于同一侧的所述多个推杆相连接。

5.根据权利要求4所述的物理气相沉积设备，其特征在于，所述传动部包括传动带和传动齿轮中的任意一种。

6.根据权利要求1所述的物理气相沉积设备，其特征在于，所述可伸缩管包括金属波纹管。

7.根据权利要求1所述的物理气相沉积设备，其特征在于，所述固定遮蔽环和可动遮蔽环的材质包括陶瓷和合金中的一种或两种的结合。

8.根据权利要求1所述的物理气相沉积设备，其特征在于，所述轴承的材质包括金属和陶瓷中的一种或两种的结合。

9.根据权利要求1所述的物理气相沉积设备，其特征在于，所述密封环的材质包括橡胶。

10.根据权利要求1-9任一项所述的物理气相沉积设备，其特征在于，所述固定遮蔽环的横截面呈L型。