[发明专利]一种单晶炉

说明书

本发明公开了一种单晶炉，包括单晶炉底座，所述单晶炉底座内设有工作腔，所述工作腔内下壁转动设有传动轴，所述传动轴上端面固定设有石墨托盘，所述石墨托盘内摆放设有用于进行单晶硅熔化的坩埚，所述坩埚内设有开口向上的熔化腔，本发明通过在进行单晶材料直拉生长工作时，在工作腔内惰性气体输入过大导致气压增大时通过将进气管道内左右两侧连通的横截面积减少，进而降低输入的惰性气体的速度，进而对工作腔内部达到气压恒定调节的效果，使单晶材料的直拉生长工作效果更好，并通过自动的速度调节使在进行单晶直拉生长工作过程中，提拉的转速维持在一定的速度范围内，进而提高单晶直拉生长的工作效率。

技术领域

本发明涉及单晶炉技术领域，具体为一种单晶炉。

背景技术

在工业生产过程中，单晶炉是一种在惰性气体中将多晶硅等多晶材料融化后，通过拉升生成单晶柱的设备，一般的单晶炉在使用过程中因要将晶体硅处于惰性气体中进行熔化，对其工作腔内部的气密性具有较高的要求，且在进行后续的单晶直拉工作的过程中，其籽晶轴以及石墨托的转速若不一致，则会造成单晶炉内直拉的单晶内部密度较差的效果，且对于恒定的内部工作气压具有较高的要求。

发明内容

本发明的目的在于提供一种单晶炉，用于克服现有技术中的上述缺陷。

根据本发明的一种单晶炉，包括单晶炉底座，所述单晶炉底座内设有工作腔，所述工作腔内下壁转动设有传动轴，所述传动轴上端面固定设有石墨托盘，所述石墨托盘内摆放设有用于进行单晶硅熔化的坩埚，所述坩埚内设有开口向上的熔化腔，所述工作腔内下壁固定设有用于进行加热的加热板，所述单晶炉底座上壁固定设有固定板，所述固定板内设有与所述工作腔连通的提升腔，所述提升腔内设有能上下移动的提升板，所述提升板下端面固定连接有籽晶夹持器，所述提升腔上壁内设有提升组件，所述提升组件能控制所述提升板的升降移动，所述工作腔左壁连通设有开口向左的进气管道，所述进气管道与外界的惰性气体管道连接，所述进气管道下壁连通设有封闭腔，所述封闭腔内设有能上下移动的封闭板，所述单晶炉底座上端面固定设有圆环形的转动板，所述转动板内固定设有圆环形且能转动的光学测量仪，所述光学测量仪用于对直拉生长的单晶柱进行直径的测量，所述工作腔下壁内设有转速控制腔，所述转速控制腔内设有转速控制组件，所述转速控制组件能防止所述石墨托盘转动过快从而导致单晶直拉生长过程中造成扭转断裂，所述工作腔下壁内且位于所述转速控制腔右壁内固定设有气压缸，所述气压缸内设有气压腔，所述气压腔内设有能左右移动的移动活塞，所述气压腔上壁左侧与所述工作腔下壁之间连通设有连通管道。

进一步的技术方案，所述单晶炉底座内上侧且位于所述转动板下方设有圆环形的支撑腔，所述支撑腔内设有能转动的且呈圆环形的转动圆盘，所述转动圆盘上端面与所述光学测量仪下端面固定连接。

进一步的技术方案，所述封闭板下端面与所述封闭腔下壁之间固定连接有封闭弹簧，所述封闭板下端面固定连接有连接拉绳。

进一步的技术方案，所述提升组件包括位于所述提升腔上壁内的转动提升腔，所述转动提升腔内转动设有转动工作板，所述转动提升腔下壁与所述提升腔上壁之间连通设有连通槽，所述转动工作板内设有线轮腔，所述线轮腔左右两壁之间转动设有支撑转轴，所述支撑转轴外圆面固定连接有转动线轮，所述转动线轮外圆面固定连接且绕设有一定长度的提升线缆，所述提升线缆贯穿所述连通槽并向下延伸至所述提升腔内并与所述提升板上端固定连接，所述线轮腔左壁内固定设有供能电机，所述支撑转轴左端动力连接于所述供能电机，所述转动提升腔上壁内固定设有转动电机，所述转动工作板上端面转动中心动力连接于所述转动电机。

进一步的技术方案，所述转动电机上侧设有齿轮腔，所述齿轮腔内下壁转动设有主动锥齿轮，所述主动锥齿轮下端面轴心动力连接于所述转动电机，所述齿轮腔内后壁转动设有与所述主动锥齿轮螺纹啮合的从动锥齿轮，所述从动锥齿轮后端面轴心固定连接有传动轴。