[发明专利]腔长调节装置、线型谐振腔、激光器及其激光输出方法

权利要求书

1.一种腔长调节装置，其特征在于，包括：第一腔长调节反射镜、第二腔长调节反射镜和压电陶瓷；

所述第一腔长调节反射镜的反射面和所述第二腔长调节反射镜的反射面相对设置；所述压电陶瓷设置在所述第一腔长调节反射镜上；所述压电陶瓷用于产生具有垂直第一腔长调节反射镜方向的振动，以调节所述第一腔长调节反射镜和所述第二腔长调节反射镜之间的距离。

2.根据权利要求1所述的腔长调节装置，其特征在于，所述压电陶瓷粘贴在所述第一腔长调节反射镜或者所述第二腔长调节反射镜的非反射面上。

3.根据权利要求1所述的腔长调节装置，其特征在于，所述第一腔长调节反射镜和所述第二腔长调节反射镜平行设置。

4.根据权利要求1所述的腔长调节装置，其特征在于，光在所述第一腔长调节反射镜和所述第二腔长调节反射镜之间的反射次数大于或者等于2。

5.根据权利要求1所述的腔长调节装置，其特征在于，所述腔长调节装置还包括控制电路；所述控制电路与所述压电陶瓷连接；所述控制电路用于控制所述压电陶瓷产生振动。

6.一种线型谐振腔，其特征在于，包括：全反射腔镜、如权利要求1-5任意一项所述的腔长调节装置、Q开关、输出腔镜、种子光探测器和控制电路；

所述腔长调节装置和所述Q开关依次设置在所述全反射腔镜到所述输出腔镜之间的光路上；所述种子光探测器设置在所述腔长调节装置中的第一腔长调节反射镜的非反射面侧或第二腔长调节反射镜的非反射面侧；所述种子光探测器用于探测所述第一腔长调节反射镜或第二腔长调节反射镜透射出的种子光；

所述全反射腔镜透射的泵浦光经过增益介质，产生振荡光，所述振荡光经过所述腔长调节装置，在所述腔长调节装置中的第一腔长调节反射镜和第二腔长调节反射镜之间进行多次反射，当所述种子光探测器探测到种子光时，触发Q开关，使振荡光从输出腔镜输出。

7.根据权利要求6所述的线型谐振腔，其特征在于，所述线型谐振腔为折叠腔、L型腔或者U型腔。

8.一种激光器，其特征在于，包括：泵浦光、增益介质和如权利要求6-7所述的线型谐振腔；

所述增益介质设置在所述线型谐振腔的全反射腔镜和腔长调节装置之间之间；所述增益介质在泵浦光的激励下产生振荡光，所述振荡光在所述线型谐振腔内振荡。

9.一种激光器的激光输出方法，其特征在于，所述激光器的激光输出方法应用于如权利要求8所述的激光器，所述激光器的激光输出方法包括：

控制Q开关关闭，注入种子光；

控制腔长调节装置中的压电陶瓷振动；

获取种子光探测器探测的种子光；

判断所述种子光探测器是否探测到种子光，得到第一判断结果；

若所述第一判断结果表示所述种子光探测器探测到种子光，则控制Q开关打开以实现输出腔镜输出单频脉冲光；

若所述第一判断结果表示所述种子光探测器未探测到种子光，则返回步骤“控制腔长调节装置中的压电陶瓷振动”。

10.根据权利要求9所述的激光器的激光输出方法，其特征在于，所述判断所述种子光探测器是否探测到种子光，得到第一判断结果，具体包括：

获取压电陶瓷的扫描电压；

判断所述种子光探测器探测的种子光信号的峰值是否大于比较电平，得到第二判断结果；

若所述第二判断结果表示所述种子光探测器探测的种子光信号的峰值大于比较电平，则判断所述峰值是否为对应所述压电陶瓷的扫描电压下降沿的第一个峰值信号；得到第三判断结果；

若所述第三判断结果表示所述峰值为对应所述压电陶瓷的扫描电压下降沿的第一个峰值信号，则确定种子光探测器探测到种子光；

若所述第三判断结果表示所述峰值不为对应所述压电陶瓷的扫描电压下降沿的第一个峰值信号，则返回步骤“获取种子光探测器探测的种子光”；

若所述第二判断结果表示所述种子光探测器探测的种子光信号的峰值小于或者等于比较电平，则返回步骤“获取种子光探测器探测的种子光”。