[发明专利]用于测量加载状态下高精度气浮导轨变形的方法及装置

权利要求书

1.一种用于测量加载状态下高精度气浮导轨变形的装置，其特征在于，包括支撑平台和分别安装在支撑平台上的波面干涉仪（1）、导轨预紧机构（2）和夹具（3），所述夹具（3）上安装有反射平晶（4），所述反射平晶（4）置于导轨预紧机构（2）的导轨安装位上方且与水平面保持45°角倾斜布置，所述波面干涉仪（1）的光输出端通过反射平晶（4）发射到导轨安装位、且在导轨安装位安装有被测量的气浮导轨（5）时加载情况下气浮导轨（5）的导轨工作面的面形误差通过反射平晶（4）反射回波面干涉仪（1）接收端；所述夹具（3）的底部设有垫高块（31）和安装调整台（32），所述夹具（3）依次通过安装调整台（32）、垫高块（31）安装在支撑平台上，所述夹具（3）和安装调整台（32）之间固定连接，所述垫高块（31）固定安装在支撑平台上，所述安装调整台（32）上设有多个呈阵列状分布的螺纹孔（33），且所述安装调整台（32）分别通过多根穿过螺纹孔（33）的螺栓固定在连接在垫高块（31）上，且所述螺栓上套设有复位弹簧，所述复位弹簧一端抵触在垫高块（31）的顶面、另一端抵触在安装调整台（32）的底面上。

2.根据权利要求1所述的用于测量加载状态下高精度气浮导轨变形的装置，其特征在于，所述反射平晶（4）的口径小于导轨的长度。

3.根据权利要求2所述的用于测量加载状态下高精度气浮导轨变形的装置，其特征在于，所述反射平晶（4）表面设有镀膜，且镀膜层的发射率大于90%。

4.根据权利要求1所述的用于测量加载状态下高精度气浮导轨变形的装置，其特征在于，所述气浮导轨（5）包括玻璃导轨（50）、驱动机构以及气浮滑块（51），所述驱动机构和玻璃导轨（50）分别安装在导轨预紧机构（2）上，所述气浮滑块（51）在驱动机构的驱动下沿着气浮导轨（5）的长度方向自由滑动。

5.根据权利要求4所述的用于测量加载状态下高精度气浮导轨变形的装置，其特征在于，所述玻璃导轨（50）的中部设有沿长度方向布置的多个下沉安装槽（501），所述下沉安装槽（501）的底部设有贯穿气浮导轨（5）的安装孔，所述导轨预紧机构（2）包括大理石底座（21）和多个底座连接件，所述大理石底座（21）安装在支撑平台上，每一个底座连接件的端部位于下沉安装槽（501）内且穿过安装孔后安装固定在大理石底座（21）上并对气浮导轨（5）施加预紧力以实现加载工况，使得加载工况下气浮导轨（5）的变形区域位于中部沿长度方向布置、且变形区域两侧为工作区域。