[发明专利]一种大行程长条形导轨干涉拼接测量的装置及应用方法

权利要求书

1.一种大行程长条形导轨干涉拼接测量的装置，其特征在于，包括气浮平台（1）和分别设于气浮平台（1）上的气浮承载滑动机构（2）及干涉测量机（3），所述气浮承载滑动机构（2）上设有用于安装采用玻璃制成的被测量的大行程长条形导轨的二维倾斜调整台（4），所述气浮承载滑动机构（2）一侧设有用于限制气浮承载滑动机构（2）做单轴向直线运动的长条形参考物（5），所述长条形参考物（5）通过一个侧面贴紧气浮承载滑动机构（2），其余三个侧面均通过吸附固定在气浮平台（1）上的磁铁块（51）抵触固定，所述长条形参考物（5）上沿着长度方向上标设有刻度。

2.根据权利要求1所述的大行程长条形导轨干涉拼接测量的装置，其特征在于，所述气浮承载滑动机构（2）包括长条形承载台（21）和两个气浮导轨（22），所述长条形承载台（21）的两端各支承在一个气浮导轨（22）的滑块上，两个气浮导轨（22）分别支承布置在气浮平台（1）上。

3.根据权利要求2所述的大行程长条形导轨干涉拼接测量的装置，其特征在于，所述两个气浮导轨（22）相对长条形承载台（21）的中心对称布置。

4.根据权利要求1所述的大行程长条形导轨干涉拼接测量的装置，其特征在于，所述二维倾斜调整台（4）包括支撑台（41）和与支撑台（41）活动连接的三根支撑螺杆（42），所述支撑螺杆（42）分别与气浮承载滑动机构（2）螺纹连接，且所述支撑螺杆（42）上套设有螺纹配合的调节螺母（43）。

5.根据权利要求1所述的大行程长条形导轨干涉拼接测量的装置，其特征在于，所述气浮平台（1）上放置在隔震地基上。

6.根据权利要求1～5中任意一项所述的大行程长条形导轨干涉拼接测量的装置的应用方法，其特征在于，包括：

1）将被测量的大行程长条形导轨放置在二维倾斜调整台（4）上，并调节气浮承载滑动机构（2）使得干涉测量机（3）对准被测量的大行程长条形导轨一端的初始位置；

2）通过干涉测量机（3）针对被测量的大行程长条形导轨的当前测量位置发出干涉光束并接收被测量的大行程长条形导轨的返回光束，调节二维倾斜调整台（4）使得发出的干涉光束、返回光束两者的光斑重合，获得当前测量位置的测量结果；

3）判断被测量的大行程长条形导轨是否已经测量完毕，若尚未测量完毕，则调节气浮承载滑动机构（2）使得干涉测量机（3）对准被测量的大行程长条形导轨的下一个测量位置，跳转执行步骤2）；否则，跳转执行下一步；其中调节气浮承载滑动机构（2）使得干涉测量机（3）对准被测量的大行程长条形导轨的下一个测量位置的步骤包括：首先给气浮承载滑动机构（2）通上指定大小的气压，使得气浮承载滑动机构（2）紧贴长条形参考物（5），然后通过人工移动的方法使气浮承载机构（3）的滑块紧贴长条形参考物（5）向前移动指定的距离，使得干涉测量机（3）对准被测量的大行程长条形导轨的下一个测量位置，再关闭气浮承载滑动机构（2）的气源；

4）将所有测量位置的测量结果拼接得到被测量的大行程长条形导轨的全口径测量结果。

7.根据权利要求6所述的大行程长条形导轨干涉拼接测量的装置的应用方法，其特征在于，步骤3）中调节气浮承载滑动机构（2）使得干涉测量机（3）对准被测量的大行程长条形导轨的下一个测量位置时，被测量的大行程长条形导轨的长度为800～1200mm，且相邻测量位置之间的间距为200～300mm。