[发明专利]一种分子泵磁轴承检测装置及检测方法

说明书

本发明提供的一种分子泵磁轴承检测装置及检测方法，该装置包括：磁轴承驱动单元、驱动与信号选择通道及综合测量单元，其中，磁轴承驱动单元与分子泵磁轴承的进线端连接，用于将驱动信号输送至分子泵磁轴承，以建立电磁力；驱动与信号选择通道用于接收外部控制信号，并根据外部控制信号切换分子泵磁轴承检测通道；综合测量单元与分子泵磁轴承的出线端连接，用于测量分子泵磁轴承电感值，以利用电感值对分子泵电磁力均衡性进行分析。通过实施本发明，为磁悬浮分子泵产品质量提供数据评价的基础和标准，保证了磁悬浮分子泵处于安全、可靠、稳定的运行状态是非常重要的。

技术领域

本发明涉及真空获得设备技术领域，具体涉及一种分子泵磁轴承检测装置及检测方法。

背景技术

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。磁悬浮分子泵作为获得真空环境的核心设备，在半导体与薄膜工业、核物理及表面科学等领域有着广泛的应用，它适用于在要求清洁的高真空和超高真空的仪器设备。

然而对于磁悬浮分子泵，由于零件加工精度以及零件装配误差的存在，磁悬浮分子泵完成装配后，径向磁轴承定子与径向保护轴承定子存在同轴度误差，轴向上下极限位置中点与上下磁轴承间距中点不重合，从而导致当转子径向悬浮在径向保护轴承定子内圆中心，且转子轴向悬浮在轴向上下极限位置中点处时，径向磁轴承和轴向磁轴承气隙不均匀，磁轴承各向电磁力不均衡，影响转子工作时的稳定性。因此，如何对磁悬浮分子泵进行有效均衡性检测，为磁悬浮分子泵产品质量提供数据评价的基础和标准，以保证磁悬浮分子泵处于安全、可靠、稳定的运行状态是非常重要的。

发明内容

因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中难以对磁悬浮分子泵均衡性进行有效的监测和控制的缺陷，从而提供一种分子泵磁轴承检测装置及检测方法。

第一方面，本发明实施例提供一种分子泵磁轴承检测装置，包括：磁轴承驱动单元、驱动与信号选择通道及综合测量单元，其中，所述磁轴承驱动单元与所述分子泵磁轴承的进线端连接，用于将驱动信号输送至所述分子泵磁轴承，以建立电磁力；所述驱动与信号选择通道用于接收外部控制信号，并根据所述外部控制信号切换所述分子泵磁轴承检测通道；所述综合测量单元与所述分子泵磁轴承的出线端连接，用于测量所述分子泵磁轴承电感值，以利用所述电感值对分子泵电磁力均衡性进行分析。

可选地，所述分子泵磁轴承检测通道包括：XY磁轴承检测通道、AB磁轴承检测通道及ZZ磁轴承检测通道，所述磁轴承驱动单元，包括：XY磁轴承驱动单元、AB磁轴承驱动单元及ZZ磁轴承驱动单元，其中，当所述驱动与信号选择通道切换至所述XY磁轴承检测通道时，将所述XY磁轴承驱动单元与所述分子泵磁轴承的第一进线端连接，用于将第一驱动信号输送至所述分子泵磁轴承，以建立XY方向上的电磁力；当所述驱动与信号选择通道切换至所述AB磁轴承检测通道时，将所述AB磁轴承驱动单元与所述分子泵磁轴承的第二进线端连接，用于将第二驱动信号输送至所述分子泵磁轴承，以建立AB方向上的电磁力；当所述驱动与信号选择通道切换至所述ZZ磁轴承检测通道时，将所述ZZ磁轴承驱动单元与所述分子泵磁轴承的第三进线端连接，用于将第二驱动信号输送至所述分子泵磁轴承，以建立ZZ方向上的电磁力。

可选地，分子泵磁轴承检测装置，还包括：自动化测试与数据分析单元及人机交互单元，其中，所述自动化测试与数据分析单元与所述综合测量单元连接，用于接收所述综合测量单元发送的所述分子泵磁轴承电感值，并根据所述电感值分析所述分子泵电磁力均衡性，生成分析结果；所述人机交互单元分别与外部计算机及所述自动化测试与数据分析单元连接，用于接收外部计算机发送的外部控制信号，将所述外部控制信号发送至所述驱动与信号选择通道，并将所述自动化测试与数据分析单元发送的所述分析结果发送至所述外部计算机。

可选地，分子泵磁轴承检测装置，还包括：磁轴承接线端子排，所述磁轴承驱动单元通过所述磁轴承接线端子排与所述分子泵磁轴承的进线端连接。