[发明专利]驱动电路的制造方法、驱动电路和光罩有效
申请号: | 202110576057.6 | 申请日: | 2021-05-26 |
公开(公告)号: | CN113314462B | 公开(公告)日: | 2022-03-22 |
发明(设计)人: | 孙晓振;邱添辉;郑浩旋 | 申请(专利权)人: | 惠科股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/77 | 分类号: | H01L21/77;H01L21/3213;H01L27/12;G09G3/20 |
代理公司: | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人: | 张海燕 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道石龙社区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 驱动 电路 制造 方法 | ||
本申请适用于显示技术领域,提供了一种驱动电路的制造方法、驱动电路和光罩。本申请实施例通过将光罩覆盖于光刻胶层并进行曝光;其中,光罩包括像素控制线路图形,像素控制线路图形设置有多处隔断,相邻的两个隔断之间间隔预设距离,以释放曝光时在像素控制线路图形产生的静电,可以有效的将像素控制线路图形上的静电电荷导出,以及避免静电电荷在像素控制线路图形上累积,降低发生静电释放的概率,从而降低用于曝光的元器件受损的风险,并可以保证曝光得到的形成的像素控制线路的完整性,使驱动电路可以正常运行。
技术领域
本申请属于显示技术领域,尤其涉及一种驱动电路的制造方法、驱动电路和光罩。
背景技术
随着显示技术的不断发展,显示面板在娱乐、教育、安防等各种领域得到广泛应用。GOA(Gate Driver on Array,阵列基板行驱动)技术是指将栅极驱动电路(Gate driverIC)直接制作在阵列(Array)基板上,实现对栅极逐行扫描的驱动方式。GOA技术能够简化显示面板的制备工序,省去水平扫描线方向的芯片邦定(Bonding)工序,并降低生产成本,同时可以提高显示面板的集成度,使显示面板更轻薄化。
使用GOA技术的显示面板在生产过程中,需要进行短路棒测试(Shorting BarTesting)点亮显示面板以检测显示面板能否正常显示,短路棒测试的驱动电路的制造需要经过一系列流程,其中进行曝光时光罩(Photo Mask)容易累积电荷从而发生静电释放(Electro Static discharge,ESD),导致光罩对应区域的电路损坏,影响驱动电路制造的良品率。
发明内容
有鉴于此,本申请实施例提供了一种驱动电路的制造方法、驱动电路和光罩,以解决现有的短路棒测试的驱动电路制造进行曝光时,光罩容易累积电荷从而发生静电释放,导致光罩对应区域的电路损坏,影响驱动电路制造的良品率的问题。
本申请实施例的第一方面提供了一种驱动电路的制造方法,包括:
将导电层覆盖于基板;
将光刻胶层覆盖于所述导电层;
将光罩覆盖于所述光刻胶层并进行曝光;其中,所述光罩包括像素控制线路图形,所述像素控制线路图形设置有多处隔断,相邻的两个所述隔断之间间隔预设距离,以释放曝光时在所述像素控制线路图形产生的静电;
对所述光刻胶层进行显影,去除所述光刻胶层中未被所述像素控制线路图形所覆盖的区域,以形成光刻胶区域;
对所述导电层进行蚀刻,去除所述导电层中未被所述光刻胶区域所覆盖的区域,以形成像素控制线路。
本申请实施例的第一方面提供一种驱动电路的制造方法,可以有效的将像素控制线路图形上的静电电荷导出,以及避免静电电荷在像素控制线路图形上累积,降低发生静电释放的概率,从而降低用于曝光的元器件受损的风险,并可以保证形成的像素控制线路的完整性,使驱动电路可以正常运行。
本申请实施例的第二方面提供了一种驱动电路,包括像素控制线路和开关模块,所述像素控制线路包括第一像素控制线路、第二像素控制线路和第三像素控制线路,所述开关模块包括第一开关单元、第二开关单元和第三开关单元:
所述第一像素控制线路,与所述第一开关单元连接,用于输出第一颜色像素控制信号,所述第一开关单元用于控制第一颜色像素控制信号输出至显示面板;
所述第二像素控制线路,与所述第二开关单元连接,用于输出第二颜色像素控制信号,所述第二开关单元用于控制第二颜色像素控制信号输出至显示面板;
所述第三像素控制线路,与所述第三开关单元连接,用于输出第三颜色像素控制信号,所述第三开关单元用于控制第三颜色像素控制信号输出至显示面板。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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