[发明专利]一种Cu掺杂NiO空穴传输层薄膜与制备方法及应用在审

专利信息
申请号: 202110577084.5 申请日: 2021-05-26
公开(公告)号: CN115094458A 公开(公告)日: 2022-09-23
发明(设计)人: 宋安刚;朱地;王义文;赵保峰;关海滨;徐丹;王树元 申请(专利权)人: 山东省科学院能源研究所
主分类号: C25B11/052 分类号: C25B11/052;C25B1/04;C25B1/55;C23C14/30;C23C14/58;C25B11/087;C25B11/077
代理公司: 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 代理人: 王磊
地址: 250014 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 cu 掺杂 nio 空穴 传输 薄膜 制备 方法 应用
【权利要求书】:

1.一种Cu掺杂NiO空穴传输层薄膜的制备方法,其特征是,通过电子束蒸发方法沉积镍铜复合膜,然后将镍铜复合膜在空气氛围下煅烧获得Cu掺杂NiO空穴传输层薄膜;

其中,电子束蒸发方法沉积过程中同时沉积镍与铜,且在沉积过程中采用冷阴极离子束进行辅助沉积。

2.如权利要求1所述的Cu掺杂NiO空穴传输层薄膜的制备方法,其特征是,电子束蒸发方法沉积完成后,温度降低至室温后破除真空状态。

3.如权利要求1所述的Cu掺杂NiO空穴传输层薄膜的制备方法,其特征是,电子束蒸发方法沉积时,真空度为1.0~3.0×10-6mbar;

或,电子束蒸发方法沉积时,电子枪电源的电压为9~11kV;

或,电子束蒸发方法沉积时,灯丝电流为0.3~0.8A。

4.如权利要求1所述的Cu掺杂NiO空穴传输层薄膜的制备方法,其特征是,电子束蒸发方法沉积时采用的衬底为导电玻璃。

5.如权利要求1所述的Cu掺杂NiO空穴传输层薄膜的制备方法,其特征是,煅烧的温度为350~450℃,优选地,煅烧时间为1.5~2.5h。

6.一种Cu掺杂NiO空穴传输层薄膜,其特征是,由权利要求1~5任一所述的制备方法获得。

7.一种权利要求6所述的Cu掺杂NiO空穴传输层薄膜作为空穴传输层在CuBi2O4光阴极中的应用。

8.一种CuBi2O4光阴极,其特征是,由下至上依次由导电玻璃、空穴传输层和CuBi2O4层组成,所述空穴传输层为权利要求6所述的Cu掺杂NiO空穴传输层薄膜。

9.如权利要求8所述的CuBi2O4光阴极,其特征是,CuBi2O4层的厚度为250~270nm。

10.一种CuBi2O4光阴极的制备方法,其特征是,包括权利要求1~5任一所述的Cu掺杂NiO空穴传输层薄膜的制备方法,采用喷雾热解法在Cu掺杂NiO空穴传输层薄膜表面沉积CuBi2O4膜;电子束蒸发方法沉积镍铜复合膜的衬底为导电玻璃。

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