[发明专利]微裂纹应变传感元件及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种制备微裂纹应变传感元件的方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)根据所需传感元件形状制作带有相应镂空形状的镀膜模板，将镀膜模板放置于基底层上，在基底层上镀上由两种金属材料沉积而成的金属薄膜层；

(2)根据所需裂纹的密度与位置制作带有相应镂空形状的图案的保护层模板上设计，并喷涂上脱模剂；

(3)将保护层模板固定于金属薄膜层表面，并将保护层的原料刷涂在保护层模板上；

(4)待保护层固化后进行脱模，并布置输出电极，得到样片；

(5)将封装层的原料旋涂于样片表面；

(6)对金属薄膜层进行弯曲和拉伸操作以在金属薄膜层表面得到图案化裂纹结构。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述镀膜模板的结构包括镂空部分，所述镂空部分两端设有凸出部分。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述保护层模板的结构包括间隔的长方形状的镂空槽。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述图案化裂纹结构为在金属薄膜层表面的裂纹阵列，所述裂纹位于在金属薄膜层表面间隔排列的保护层之间。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述微裂纹应变传感元件包括：基底层；金属薄膜，所述金属薄膜设于基底层上，所述金属薄膜由两种金属材料沉积而成，所述金属薄膜设有图案化裂纹结构；保护层，所述保护层设于金属薄膜上；输出电极，所述输出电极连接于金属薄膜，用于输出电信号；封装层，所述封装层设于保护层上。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述基底层的材料包括：聚酰亚胺、聚乙烯对苯二甲酸脂、聚氯乙烯、尼龙、流延聚丙烯薄膜材料的薄膜。

7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述金属薄膜层为采用金薄膜和铬相沉积而成的薄膜，其中金替换的金属材料包括：铂、银、铜。

8.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述保护层的原料采用环氧树脂A液与B液按照重量比3:1的比例混合搅拌而成。

9.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述封装层的原料采用聚二甲基硅氧烷样液按重量比10：1的比例混合搅拌而成。

10.一种微裂纹应变传感元件的应用方法，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的方法在医学领域的应用。