[发明专利]搭载图像传感功能的基于VDMOS器件的三极管显示器在审

专利信息
申请号: 202110580246.0 申请日: 2021-05-26
公开(公告)号: CN113314560A 公开(公告)日: 2021-08-27
发明(设计)人: 杜晓松;沈秋华;郭华飞;宋东;杨晋苏;张婷;杨长春 申请(专利权)人: 常州大学
主分类号: H01L27/15 分类号: H01L27/15;H01L27/32;H01L29/06;H01L29/78;H01L27/146
代理公司: 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 代理人: 王敏
地址: 213164 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 搭载 图像 传感 功能 基于 vdmos 器件 三极管 显示器
【权利要求书】:

1.一种搭载图像传感功能的基于VDMOS器件的三极管显示器,其特征在于,包括:

多个像素,每个所述像素包括发光区和图像传感区,所述发光区包括三个子像素单元,分别为红色子像素单元、绿色子像素单元和蓝色子像素单元,所述图像传感区包括三个图像传感单元,分别为红色图像传感单元、绿色图像传感单元和蓝色图像传感单元;

驱动背板,所述驱动背板上设有若干规则排列的过孔,所述子像素单元和图像传感单元覆盖至少一个所述过孔,所述驱动背板承载多个像素,并驱动所述子像素单元发光,所述子像素单元根据配置的图像传感单元进行发光;

所述子像素单元包括阳极、VDMOS器件、ITO/TiN薄膜层和LED发光单元,所述阳极位于驱动背板上,且覆盖至少一个过孔,所述VDMOS器件位于所述阳极远离驱动背板的一侧,所述VDMOS器件包括NPN型半导体层、栅极和栅极绝缘层,所述NPN型半导体层位于阳极远离驱动背板的一侧,所述栅极绝缘层包覆在NPN型半导体层和阳极的外侧壁上,所述栅极包覆在栅极绝缘层的侧壁处,所述ITO/TiN薄膜层位于VDMOS器件远离驱动背板的一侧,所述LED发光单元位于ITO/TiN薄膜层远离驱动背板的一侧;

所述图像传感单元包括阳极和VDMOS器件,所述阳极位于驱动背板上,且覆盖至少一个过孔,所述VDMOS器件位于所述阳极远离驱动背板的一侧;

第一薄膜封装层,所述第一薄膜封装层封装包覆VDMOS器件、ITO/TiN薄膜层、LED发光单元和驱动背板上表面,且所述子像素单元中和图像传感单元中对应的第一薄膜封装层上均开有一个电极槽,所述子像素单元中的电极槽底部露出部分LED发光单元上表面,所述图像传感单元的电极槽底部露出部分VDMOS器件上表面;

共阴极,所述共阴极设置在第一薄膜封装层远离驱动背板的一层,且覆盖电极槽,所述图像传感单元中,共阴极通过电极槽与VDMOS器件上表面接触,所述子像素单元中,共阴极通过电极槽与LED发光单元上表面接触;

第二薄膜封装层,所述第二薄膜封装层位于共阴极远离驱动背板的一侧,且覆盖共阴极。

2.根据权利要求1所述的搭载图像传感功能的基于VDMOS器件的三极管显示器,其特征在于,所述LED发光单元包括第一键合金属层、第一半导体层、发光层、第二半导体层和第二键合金属层,所述第一键合金属层键合生长在ITO/TiN薄膜层远离驱动背板一侧,所述第一半导体层位于所述第一键合金属层上表面;所述发光层设置在所述第一半导体层上表面;所述第二半导体层设置在所述发光层上表面,所述第二键合金属层位于第二半导体层远离驱动背板的一侧;所述红色子像素单元中的发光层发出红光,所述绿色子像素单元的发光层发出绿光,所述蓝色子像素单元中的发光层发出蓝光。

3.根据权利要求1所述的搭载图像传感功能的基于VDMOS器件的三极管显示器,其特征在于,所述LED发光单元为OLED发光单元,所述OLED发光单元包括OLED白光层、漏极电极、白光封装层和SiN保护侧壁,所述OLED白光层位于发光区的ITO/TiN薄膜层远离驱动背板的一侧,且与发光区的ITO/TiN薄膜层接触,所述漏极电极位于OLED白光层远离驱动背板的一侧,所述白光封装层位于漏极电极远离驱动背板的一侧,所述SiN保护侧壁位于OLED白光层、漏极电极、白光封装层的外侧壁。

4.根据权利要求2所述的搭载图像传感功能的基于VDMOS器件的三极管显示器,其特征在于,还包括RGB滤光片层,所述RGB滤光片层设置在图像传感区内第二薄膜封装层上远离驱动背板的一侧,所述RGB滤光片层包括红色滤光单元R、绿色滤光单元G、蓝色滤光单元B和黑矩阵,所述红色滤光单元R、绿色滤光单元G和蓝色滤光单元B依次间隔排列设置在第二薄膜封装层上表面,所述红色滤光单元R、绿色滤光单元G和蓝色滤光单元B分别与图像传感单元中的NPN型半导体层在驱动背板上的投影交叠;所述黑矩阵围绕所述红色滤光单元R、绿色滤光单元G以及蓝色滤光单元B的周边设置。

5.根据权利要求3所述的搭载图像传感功能的基于VDMOS器件的三极管显示器,其特征在于,还包括第一金属层和滤光片层,所述第一金属层位于第二薄膜封装层远离驱动背板的一侧,每个子像素单元和每个图像传感单元中均设有一个滤光片层。

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