[发明专利]氮掺杂的非晶五氧化二铌薄膜的制备方法、全固态薄膜的锂离子电池正极以及锂离子电池有效
| 申请号： | 202110581636.X | 申请日： | 2021-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN113308677B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 夏晖;夏求应;岳继礼;昝峰;徐璟 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学北方研究院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;C23C14/54;C23C14/24;C23C14/18;H01M4/131;H01M4/48;H01M4/62;H01M10/0525;H01M10/058 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 张金铭 |
| 地址： | 300000*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掺杂 非晶五 氧化 薄膜 制备 方法 固态 锂离子电池 正极 以及 | ||
1.一种氮掺杂的非晶五氧化二铌薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
通过磁控溅射制备非晶五氧化二铌薄膜，并在制备过程中进行氮掺杂，得到氮掺杂的非晶五氧化二铌薄膜；
所述磁控溅射的靶材为纯Nb金属，工作气体为氮气和氧气；
所述磁控溅射的工艺参数包括：
磁控溅射的腔室真空度小于或等于1×10-4 Pa；
通入40 sccm氮气和40 sccm的氧气；
基片温度为300℃；
射频溅射功率为1.4W/cm2；
靶基距为80 mm；
溅射时间为4 h。
2.一种全固态薄膜锂离子电池正极，其特征在于，包括正极集流体和正极材料层，所述正极材料层由权利要求1所述的制备方法制备得到。
3.一种全固态薄膜锂离子电池，其特征在于，包括权利要求2所述的全固态薄膜锂离子电池正极、固态电解质和负极。
4.根据权利要求3所述的全固态薄膜锂离子电池，其特征在于，所述固态电解质包括晶体形无机固体电解质、玻璃态及无定形无机固体电解质和复合锂离子无机固体电解质中的至少一种。
5.根据权利要求3所述的全固态薄膜锂离子电池，其特征在于，所述负极包括金属锂、锂合金中的至少一种。
6.一种权利要求3-5任一项所述的全固态薄膜锂离子电池的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
在所述全固态薄膜锂离子电池正极上依次镀固态电解质薄膜、负极薄膜以及负极集流体，得到全固态薄膜锂离子电池。
7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，利用磁控溅射方式制备所述固态电解质薄膜。
8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，利用热蒸发方式制备所述负极薄膜。
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