[发明专利]一种ITO废料的回收加工方法

说明书

本发明公开了一种ITO废料的回收加工方法。本发明所述方法为：将ITO废料依次经过脱脂烧结，第一次烧结，均质混料，第二次烧结得到所述ITO靶材；所述均质混料为将ITO粗粉和ITO细粉进行混料后，加入粘结剂搅拌均匀静置得到混合物料。本发明将ITO废料从新回收加工为新的高密度低电阻率的ITO靶材，节约资源，降低生产成本，且本发明将ITO粗粉和ITO细粉混合，增加ITO粉料的粒度分布，使ITO靶材内部存在孔隙，避免ITO靶材在蒸镀过程中加热开裂。通过本发明所述回收加工方法制备的ITO靶材密度为4.42～4.58g/cm³，电阻率低至1360.12μΩ.cm，而且无开裂和变形现象。

技术领域

本发明属于ITO靶材生产技术领域，具体涉及一种ITO废料的回收加工方法。

背景技术

ITO靶材由ITO粉压制成型，得到ITO靶材素坯，经过车床切割打磨表面，高温烧结生产得到高密度ITO靶材，在机械压制中和冷等静压成型过程，部分靶材开裂，开裂的靶材只能报废处理。在切割打磨过程中一根靶材有5-8％的靶材被切割废料，在生产过程中产生大量的ITO废料，将这些废料重新加工处理回收，大大降低了生产成本，提高产品效益。

发明内容

针对上述现有技术的缺点，本发明提供一种ITO废料的回收加工方法。

为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：

一种ITO废料的回收加工方法，所述方法为：将ITO废料依次经过脱脂烧结，第一次烧结，均质混料，第二次烧结得到所述ITO靶材；所述均质混料为将ITO粗粉和ITO细粉进行混料后，加入粘结剂搅拌均匀静置得到混合物料。

本发明通过脱脂烧结去除ITO废料中的添加剂，再通过第一次烧结使ITO粉的性质确定，使靶材在二次烧结过程中不收缩，因此易控制靶材的形状和密度大小，二次烧结后的样品不需要经过切割打磨表面处理，直径生产出成品。另外，本发明通过将ITO粗粉和ITO细粉混合，增加ITO粉料的粒度分布，使靶材内部存在孔隙，避免ITO靶材在蒸镀过程中加热开裂，通过上述ITO废料的回收加工方法制备的ITO靶材密度在4.42～4.58g/cm³，电阻率低至1360.12μΩ.cm，而且无开裂和变形现象。

作为本发明的优选实施方式，所述ITO粗粉为第一次烧结后未经过球磨的ITO粗粉；所述ITO细粉为第一次烧结后的ITO粉经过球磨得到的ITO细粉。

作为本发明的优选实施方式，所述球磨的时间为18-24小时。

本发明所述球磨时间决定ITO细粉的粒径大小，若ITO细粉粒径过大导致ITO粉料的粒度范围过小，靶材内部孔隙过大，影响靶材致密度，也会造成靶材的开裂和形变；若ITO细粉粒径过小，导致ITO粉料的粒度范围过大，靶材内部无孔隙，造成靶材在蒸镀时易开裂和喷射。

作为本发明的优选实施方式，所述ITO粗粉和ITO细粉的质量百分含量比为30％-40％：60％-70％；所述ITO粗粉和ITO细粉的质量百分含量之和为100％。

本申请通过大量科学试验探索，ITO粗粉和ITO细粉按照上述配比进行混合，所得到的ITO靶材的密度较高，电阻率低，且ITO靶材在蒸镀过程中无开裂和喷溅。

作为本发明的优选实施方式，所述粘结剂为水，水的重量为ITO粗粉和ITO细粉总重量的5％-8％，所述静置的时间为18-24小时。

作为本发明的优选实施方式，脱脂烧结具体为：将ITO废料在温度为150-400℃，氧气气流为50-100L/min的氧气氛围下进行脱脂烧结，将脱脂烧结后的ITO废料进行破碎筛分，得到粒径小于0.5mm的ITO粉；所述脱脂烧结的升温速率为2-3℃/min。

作为本发明的优选实施方式，第一次烧结具体为：将脱脂烧结得到的ITO粉放入容器中，升温至1300-1450℃进行第一次烧结，所述第一次烧结的升温速率为1-3℃/min。